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101. MEMS扭转微镜的滑模控制研究

102. MEMS硅谐振式压力传感器设计

103. MEMS电容式加速度计敏感结构研究

104. 随钻测量用MEMS陀螺信号稀疏提取

105. MEMS数字加速度计测试系统研究

106. 基于MEMS-IMU的手势识别

107. MEMS数字陀螺中频率合成器设计

108. MEMS单兵导航系统强跟踪改进算法研究

109. MEMS振荡器的频率稳定技术研究

110. 太赫兹倍频及MEMS滤波技术研究

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