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203. MEMS惯导系统在线标定与补偿技术研究

204. 基于MEMS惯性器件的姿态测量系统的研究

205. 基于复合薄膜新型压电驱动RF MEMS开关

206. 基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

207. 基于MEMS微镜的微型光谱仪设计

208. 高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

209. MEMS陀螺零偏在线自校准方法研究

210. MEMS-INS/GNSS组合导航系统研究

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