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372. 用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现

373. 基于微电铸工艺的低应力MEMS安保机构制作

374. 一种MEMS加速度计的动力学特性测试研究

375. 基于多MEMS惯性传感器的步态分析与研究

376. MEMS甲烷传感器特性表征系统的设计与实现

377. 基于SysML的MEMS产品概念设计方法研究

378. 基于MEMS微镜扫描的三维激光雷达样机系统设计

379. 基于微观尺寸穿孔结构的MEMS器件下拉现象的研究

380. 一种MEMS加速度计的噪声处理与参数训练方法

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