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51. 多
MEMS
陀螺数据融合方法性能比较
52. 新型
MEMS
光学开关的设计与分析
53. 新型
MEMS
器件电子封装技术的研究
54.
MEMS
惯性组合自标定与应用
55. 基于
MEMS
的人体运动信息采集系统
56.
MEMS
陀螺随机误差辨识与降噪技术
57. 高过载
MEMS
环形陀螺制造与测试
58. 基于
MEMS
器件的惯性测量系统设计
59.
MEMS
行波超声电机启动特性研究
60. 基于
MEMS
的太赫兹可调器件研究
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