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51. MEMS惯性组合自标定与应用

52. 基于MEMS的人体运动信息采集系统

53. MEMS陀螺随机误差辨识与降噪技术

54. 高过载MEMS环形陀螺制造与测试

55. 基于MEMS器件的惯性测量系统设计

56. MEMS行波超声电机启动特性研究

57. 基于MEMS的太赫兹可调器件研究

58. 基于MEMS的太赫兹可调器件研究

59. MEMS集成复合磁芯双层平面电感研究

60. RF MEMS器件及其集成技术研究

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