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51. 多MEMS陀螺数据融合方法性能比较

52. 新型MEMS光学开关的设计与分析

53. 新型MEMS器件电子封装技术的研究

54. MEMS惯性组合自标定与应用

55. 基于MEMS的人体运动信息采集系统

56. MEMS陀螺随机误差辨识与降噪技术

57. 高过载MEMS环形陀螺制造与测试

58. 基于MEMS器件的惯性测量系统设计

59. MEMS行波超声电机启动特性研究

60. 基于MEMS的太赫兹可调器件研究

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