钛酸锶钡纳米管阵列薄膜的水热合成及其性能研究

发布时间：2017-10-15 07:02

  本文关键词：钛酸锶钡纳米管阵列薄膜的水热合成及其性能研究

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【摘要】：以阳极氧化法制备的二氧化钛纳米管阵列为模板,结合水热法制备了钛酸锶钡纳米管阵列薄膜。讨论了Ba_(1-x)Sr_xTiO_3纳米管阵列薄膜的结构、形貌和电学性能。用X射线衍射仪表征其晶体结构;扫描电子显微镜观察其表面及断口形貌;以及用宽频介电阻抗谱仪测试其介电性能。结果表明:在较为温和的条件下用水热法制备了立方相及四方相的Ba_(1-x)Sr_xTiO_3纳米管阵列薄膜;纳米管孔径在65~80 nm之间,薄膜厚度可达10μm以上;经热处理之后的薄膜样品在1 kHz介电常数可达338,介电损耗为0.46。
【作者单位】： 海南大学材料与化工学院海南优势资源化工材料应用技术教育部重点实验室硅锆钛资源综合开发与利用海南省重点实验室;天津师范大学物理与电子信息学院;清华大学材料科学与工程学院;
【关键词】： 钛酸锶钡 纳米管阵列薄膜 水热法 表面形貌 介电性能
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA03Z524) 国家自然科学基金(50872093) 海南大学科研基金(Hjkj-2010-11)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 1 引言 铁电钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO 3)或BST薄膜在微电子应用中被广泛研究,如多层陶瓷电容器、动态随机存取存储器(DRAM)和铁电场效应晶体管(Fe FET)等,其优势在于合成成本低、介电常数高和介电损耗较低[1-2]。 钡锶比对钛酸锶钡薄膜的微观结构和电性能有着重要的影响。BST薄

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