ZnO纳米薄膜及其声表面波传感器的制备与特性研究

发布时间：2017-10-17 12:13

  本文关键词：ZnO纳米薄膜及其声表面波传感器的制备与特性研究

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【摘要】：结合RF磁控溅射和水热合成法制备ZnO纳米结构薄膜,利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌、XPS分析薄膜的化学组分。结果表明,在适当的条件下,所制备的ZnO薄膜为具有良好c轴取向的纳米棒状结构,且ZnO纳米棒薄膜表面吸附的氧原子及晶格的氧空位缺陷增多。利用所制备ZnO纳米棒薄膜的上述特性,将其作为气体敏感材料。分别沉积于128°YX-LiNbO_3和36°YX-LiTaO_3基片,研制多层结构的声表面波(Rayleigh波和Love波)氢气传感器,并进行室温条件下氢气的实时传感检测,结果显示所研制的Love波传感器具有更高的灵敏度,性能更优化。
【作者单位】： 南京邮电大学电子科学与工程学院;近代声学教育部重点实验室南京大学声学研究所;
【关键词】： 声表面波传感器;多层结构;棒状结构;Rayleigh;传感器应用;表面吸附;磁控溅射;水热合成法;电子结合能;溅射法;
【基金】：国家青年科学基金项目(11304160) 江苏省高校自然科学基金项目(13KJB140008) 南京邮电大学基金项目(NY213018)资助
【分类号】：O484.1;TP212;TB383.1
【正文快照】： 3,^. 5 声表面波(SAW)的能量主要集中在表面以下一到两个波长范围内,对质量负载、黏弹性负载、温度等外界因素的干扰非常敏感W,因此SAW传感器具 有灵敏度高、反应速度快、重复性好等优点,特别适合于有毒有害物质的实时传感检测。SAW传感器通常由激发SAW的压电基片及敏感材，

本文编号：1048777