厚度对TiN薄膜力学性能的影响

发布时间：2017-10-18 21:48

  本文关键词：厚度对TiN薄膜力学性能的影响

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【摘要】：采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄膜厚度变化不大,即薄膜越厚越耐磨。
【作者单位】： 华南理工大学材料科学与工程学院;深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室;广东正德材料表面科技有限公司华南理工大学中山材料表面工程与薄膜技术创新研发中心;
【关键词】： 硬质薄膜 力学性能 薄膜厚度 TiN 残余应力
【基金】：国家自然科学基金项目(No.51401128) 深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426) 中山市科技计划与创新团队项目
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： Ti N硬质薄膜因其具有优异的物理及化学性能,是目前工业上研究和应用最为广泛的薄膜材料之一[1-3]。电弧离子镀技术是制备Ti N薄膜的主要方法之一,它具有离化率高、沉积速率快、粒子能量大、成膜附着力高等优点;但由于靶材表面在蒸发离化时容易产生大颗粒,这会导致薄膜形成很

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