柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测方法

发布时间：2017-10-20 23:19

  本文关键词：柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测方法

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【摘要】：针对空间应用的柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测要求,本文提出以干涉测量法为基础,采用光学聚酰亚胺薄膜制备所用基板的反射波前数据、薄膜未剥离成膜基板时上表面反射波前数据以及薄膜剥离基板后的透射波前数据有效测量此类柔性薄膜折射率均匀性。将棱镜耦合仪逐点测量数据作为对比项,实验结果表明,所提出的方法能高效可靠地对柔性薄膜全口径进行折射率均匀性检测。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 柔性光学聚酰亚胺薄膜 折射率均匀性 波面
【基金】：国家863高技术项目支持课题
【分类号】：TQ323.7;TB383.2
【正文快照】： 0引言随着轻量化光学元器件的发展,柔性自支撑聚合物光学薄膜材料逐渐应用到光学系统中[1-2],标定这种柔性光学薄膜的光学材料均匀性是其应用的前提。现有文献[3-5]报道的内容大多涉及光学玻璃等刚性材料的光学材料均匀性检测,其材料厚度在毫米量级以上;同时也有通过透过率光，

本文编号：1069953