聚焦离子束技术制备超薄TEM样品—X~2样品台的应用

发布时间：2017-10-21 17:20

  本文关键词：聚焦离子束技术制备超薄TEM样品—X~2样品台的应用

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【摘要】：聚焦离子束技术在制备TEM样品方面得到了广泛的应用。普通传统的制样减薄方法存在远端薄区极易弯曲和薄区厚度不均匀的问题。针对存在的这些问题本文使用Zeiss公司的X2样品台采取交叉减薄的方法制备一个具有均匀的极薄的TEM样品。本文主要介绍X2样品台的工作原理和交叉减薄的实验过程,并分析了该方法在制备TEM样品时存在的优缺点以及其独特的适用性。
【作者单位】： 重庆大学材料科学与工程学院;卡尔蔡司(上海)管理有限公司;
【关键词】： FIB TEM样品制备 X样品台
【基金】：国家自然科学基金面上项目(No.51271209) 国家“211工程”资助项目(No.CERS-1-33) 汽车发动机用铸造铝合金中新型纳米带析出沉淀相的形成机理及其对高温力学性能的影响(No.51271209)
【分类号】：TB302
【正文快照】： 聚焦离子束(FIB)技术以其卓越的微区加工能力,使其在透射电镜(TEM)样品制备方面得到广泛应用[1]。会聚的离子束可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀、沉淀和减薄等过程[2]。利用FIB实时加工实时观察的特点可以进行特定区域TEM样品制备,如孪晶界面等。目前利用聚焦离子束

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本文编号：1074477