玻璃衬底二氧化钒薄膜的宽频带太赫兹波调制特性

发布时间：2017-10-21 23:28

  本文关键词：玻璃衬底二氧化钒薄膜的宽频带太赫兹波调制特性

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【摘要】：针对二氧化钒(VO_2)薄膜在可调谐太赫兹功能器件中的应用,采用磁控溅射法在K9玻璃衬底上制备了VO_2薄膜,并用X射线衍射(XRD)对薄膜的晶相进行表征。利用配备加热装置的太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)研究了薄膜样品在变温过程中的THz反射、透射光谱特性及其变化规律。实验结果表明,随着加热温度的升高,VO_2薄膜发生半导体-金属相变并对宽频段THz波产生显著的调制作用。调制深度明显依赖于THz频率,薄膜样品对THz波反射功率、透射率的幅度调制深度在0.3~0.5THz范围波动较大;对THz波的透射率在低频处较大,高频处较小,调制深度在35%~65%之间变化。该薄膜制备简单,质量高,可应用于太赫兹开关和调制器等功能器件。
【作者单位】： 四川大学电子信息学院;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【关键词】： 二氧化钒 太赫兹 THz时域光谱系统 调制
【基金】：光电探测与传感集成技术教育部重点实验室开放基金项目(KFJJ201302)
【分类号】：TB383.2;O441.4
【正文快照】： THz波是频率在0.1~10THz(即波长范围为3000~30μm)的电磁波,在高容量高速率通信方面有重要应用前景。但是THz器件尤其是可控功能器件如THz滤波、相位控制、开关和调制等器件匮乏,限制了THz通信技术的进一步发展。THz调制技术是THz通信系统的关键技术之一[1]。近年来,为了提高T

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本文编号：1075744