MPCVD金刚石膜装置的研究进展

发布时间：2017-10-23 01:22

  本文关键词：MPCVD金刚石膜装置的研究进展

  更多相关文章： 金刚石膜 MPCVD 谐振腔

【摘要】：微波等离子体(MPCVD)法因其独特的优势,成为高速、大面积、高质量制备金刚石膜的首选方法,MPCVD金刚石膜装置的研究受到科研人员和工业界的广泛关注。文章对金刚石膜的性质和各种制备方法进行了简要概述,论述了CVD金刚石膜的生长机理,着重阐述了各种MPCVD装置的结构特点及工作原理,并对各种装置的优、缺点进行了分析。研究结果表明:研制具有高品质因数谐振腔能激发均匀微波等离子体的MPCVD装置,是进一步开发金刚石膜工业化应用所需解决的主要问题。
【作者单位】： 中国科学院电工研究所;武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室;
【关键词】： 金刚石膜 MPCVD 谐振腔
【基金】：湖北省教育厅项目(Q20151517)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言金刚石是天然物质中最硬的材料,在热学、声学、光学、电学等方面具有优异的物理化学性能[1-2]。金刚石膜可以明显改善器件的工作效率,使器件在技术指标、使用寿命、运行可靠性和经济性等多方面获得更优异的效果,因此对金刚石的研究与应用已成为各个领域的科研工作者深入

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 方容川,常超,廖源,叶祉渊,薛剑耿,王冠中,马玉蓉,尚乃贵,牛晓滨,王代冕,吴气虹,揭建胜;计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用[J];材料导报;2001年01期

2 卢文壮,左敦稳,王珉,黎向锋,徐锋,褚向前;大面积B掺杂CVD金刚石膜的制备研究[J];人工晶体学报;2004年05期

3 吴振辉;马志斌;谭必松;张磊;吴利峰;;CVD金刚石膜的抛光研究进展[J];硬质合金;2008年03期

4 吕反修;;CVD金刚石膜新兴研究方向及市场现状与趋势[J];金属热处理;2008年11期

5 汪建华;刘鹏飞;熊礼威;刘繁;江川;苏含;;大面积金刚石膜生长过程中的缺陷和内应力[J];武汉工程大学学报;2012年06期

6 孙玉静;周珑;王树彬;田莳;;铁/钢抛光CVD金刚石膜的机理研究[J];科技传播;2012年19期

7 宋彦军;陶隆凤;王礼胜;;CVD金刚石膜产业化应用问题分析及展望[J];硬质合金;2013年04期

8 ;美科学家研究出用C_（60）生产金刚石膜新技术[J];科技导报;1994年11期

9 吕反修;CVD金刚石膜研究近期进展与应用[J];物理;1995年10期

10 元光，金亿鑫，金长春，，宋航，张宝林，宁永强，蒋红，周天明，李树伟;硅微尖上金刚石膜的生长[J];吉林大学自然科学学报;1996年03期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 王万录;廖梅勇;廖克俊;;金刚石膜场发射性质的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年

2 韩毅松;刘尔凯;玄真武;魏丽娟;;CVD金刚石膜在不同基体上焊接应力的研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展（上册）[C];2001年

3 金曾孙;吕宪义;杨广亮;吴汉华;李哲奎;刘建设;;金刚石膜中氮杂质状态的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

4 邱万奇;曾艳祥;贺礼贤;刘仲武;曾德长;钟喜春;余红雅;;铜基镶嵌结构界面金刚石涂层及其膜/基结合力的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第5分册）[C];2010年

5 刘敬明;家建华;张恒大;蒋政;唐伟忠;吕反修;;CVD金刚石自支撑膜的高温氧化[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年

6 李春燕;金曾孙;吕宪义;;乙醇对金刚石膜生长特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

7 陈良贤;李成明;陈飞;刘政;黑立富;宋建华;陈广超;唐伟忠;吕反修;;钛过镀层沉积自支撑金刚石膜的界面特征[A];2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会文集[C];2008年

8 唐伟忠;于盛旺;李成明;陈广超;吕反修;;金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）[C];2010年

9 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;;氮气流量对金刚石膜生长的影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

10 刘存业;李建;陈志谦;王跃;;CVD金刚石膜X-射线衍射分析[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年

中国重要报纸全文数据库 前8条

1 剑坤;金刚石膜——我国新材料产业的新突破[N];科技日报;2000年

2 北京科技大学 吕反修;金刚石膜：带起一个产业群[N];科技日报;2001年

3 记者 吴曼;雷地科技获航天专家赞誉[N];证券时报;2004年

4 蒋占华;金刚石膜制备及应用开发项目获重大进展[N];中国建材报;2001年

5 王华;科研成果及应用进入高校前列[N];科技日报;2006年

6 冀文海;中小企业赚钱的机会在哪里[N];中国乡镇企业报;2002年

7 陈捷;尽显新材料研究实力[N];科技日报;2000年

8 ;开拓创新的河北省科学院[N];科技日报;2003年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 张明龙;CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究[D];上海大学;2005年

2 唐达培;直流电弧等离子体喷射金刚石膜残余应力及开裂破坏研究[D];西南交通大学;2009年

3 周建;微波等离子体化学气相沉积法制备高质量金刚石膜研究[D];武汉理工大学;2002年

4 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年

5 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年

6 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年

7 裴晓强;CVD金刚石膜的高温氧化及其浸润性质研究[D];吉林大学;2015年

8 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年

9 李义锋;新型高功率MPCVD装置研制与金刚石膜高效沉积[D];北京科技大学;2015年

10 李博;MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶[D];吉林大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 张彤;自支撑硼掺杂金刚石膜生长及其硼分布、应力的研究[D];吉林大学;2009年

2 林志伟;金刚石膜制备及其在机械加工领域的应用[D];长春理工大学;2008年

3 董伯先;CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制[D];大连理工大学;2008年

4 成绍恒;氮气对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2009年

5 李晨;金刚石膜的应力研究[D];长春理工大学;2009年

6 卢冬;硼和氮掺杂CVD金刚石膜的生长及特性研究[D];吉林大学;2010年

7 刘军伟;沉积条件对CVD金刚石膜生长及其掺杂影响的研究[D];吉林大学;2011年

8 陈君;电火花抛光CVD金刚石膜研究[D];广东工业大学;2002年

9 陈春林;机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究[D];广东工业大学;2003年

10 韩荣耀;CVD金刚石膜钝头体飞行温度与压力的仿真研究[D];南京航空航天大学;2007年

本文编号：1080985