溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展

发布时间：2017-11-05 15:17

  本文关键词：溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展

  更多相关文章： 深度剖析定量分析 深度分辨率 MRI模型 成分的深度分布 表面分析技术

【摘要】：溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例.
【作者单位】： 汕头大学理学院物理系;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11274218) 国家自然科学基金与以色列科学基金(NSFC-ISF)共同资助的国际交流项目 科技部政府间科技合作交流项目
【分类号】：TB302
【正文快照】： 1引言溅射深度剖析已成为表面分析一种常规的检测技术,被广泛应用于半导体掺杂、涂层、特殊钢铁制造等工业领域的产品研发及质量控制,以及物理、化学、生物、先进材料等学术领域的基础研究.由于溅射深度剖析实验涉及到复杂的溅射过程,样品的表面形貌,以及探测信号的信息深度,，

本文编号：1144747