电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响

发布时间：2017-11-16 15:02

  本文关键词：电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响

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【摘要】：主要研究电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响。通过改变电磁场的电压,研究阴极弧斑在不同电磁场下的运动现象以及AlTiN涂层的微观结构和力学性能。结果表明阴极弧斑的运动受磁场电压的影响。增加磁场电压,弧斑更多的在电弧靶中心区域聚集。AlTiN涂层的大颗粒分布、沉积速率、微观结构和硬度相应地受电磁场电压的影响。文章对相关机理进行了研究。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;安泰科技股份有限公司;
【基金】：广东自然科学基金项目(2014A030311002) 企事业单位委托项目
【分类号】：TB306
【正文快照】： 电弧离子镀作为工业化镀膜的关键技术之一。因具有构造简单、离化率相对较高(约70% ~80%)、入射粒子能量高、绕射性好等一系列优点,迅速发展壮大并得到大规模应用[1_6]。但是由于涂层表面大颗粒的存在,对涂层的性能与寿命产生不良影响。在电弧离子镀的沉积过程中,如何优化电弧

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 夏飞;张栋;邹长伟;柯培玲;王启民;汪爱英;;脉冲电压对HPPMS制备CrN薄膜的组织结构与力学性能的影响[J];真空科学与技术学报;2014年10期

2 赵彦辉;郎文昌;肖金泉;宫骏;孙超;;电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计[J];真空科学与技术学报;2013年04期

3 郎文昌;肖金泉;宫骏;孙超;黄荣芳;闻立时;;轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J];金属学报;2010年03期

4 吕庆敖,任兆杏,梁荣庆;阴极弧斑放电的机理分析[J];真空与低温;1999年04期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 张权;邹长伟;梁俊才;耿东森;王启民;;电磁场对电弧离子镀沉积AlTiN涂层的影响[J];真空科学与技术学报;2016年06期

2 刘星;王明娥;孙刚;马国佳;;可控阴极弧制备的梯度及调制多层CrN/Cr薄膜的组织结构和力学性能研究[J];真空科学与技术学报;2015年12期

3 宋贵宏;肖金泉;杜昊;陈立佳;;轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响[J];材料研究学报;2015年10期

4 郎文昌;赵战锋;杜昊;高斌;王向红;程岐生;;多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计[J];真空科学与技术学报;2015年08期

5 郎文昌;高斌;杜昊;肖金泉;谢婷婷;王向红;;多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析[J];真空科学与技术学报;2015年06期

6 郎文昌;赵彦辉;肖金泉;宫骏;孙超;于宝海;闻立时;;旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J];真空科学与技术学报;2015年03期

7 雷浩;肖金泉;郎文昌;张小波;宫骏;孙超;;磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用[J];中国表面工程;2015年02期

8 魏永强;魏永辉;蒋志强;田修波;;基体放置状态与脉冲偏压幅值对大颗粒形貌和分布的影响[J];真空科学与技术学报;2014年10期

9 赵彦辉;郎文昌;肖金泉;宫骏;孙超;;电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计[J];真空科学与技术学报;2013年04期

10 常正凯;肖金泉;陈育秋;刘山川;宫骏;孙超;;电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J];金属学报;2012年05期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 肖金泉;郎文昌;赵彦辉;宫骏;孙超;闻立时;;轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响[J];金属学报;2011年05期

2 刘琪;王文涛;林国强;;磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响[J];真空科学与技术学报;2011年01期

3 郎文昌;肖金泉;宫骏;孙超;黄荣芳;闻立时;;轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J];金属学报;2010年03期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 ;电弧离子镀膜设备与工艺[J];航天工艺;1994年06期

2 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时;电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度[J];金属学报;2003年09期

3 袁方园;陆文琪;林国强;;利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数[J];真空科学与技术学报;2009年05期

4 常正凯;肖金泉;陈育秋;刘山川;宫骏;孙超;;电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究[J];金属学报;2012年05期

5 胡永年;;电弧离子镀膜研制成功[J];工具技术;1987年09期

6 白晓,林国强,董闯;脉冲偏压电弧离子镀沉积温度的计算[J];金属学报;2004年10期

7 郎文昌;肖金泉;宫骏;孙超;黄荣芳;闻立时;;轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J];金属学报;2010年03期

8 李成明,孙晓军,张勇,李桂英,曹尔妍,唐伟忠,吕反修;电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察[J];电子显微学报;2004年03期

9 黄拿灿;徐向荣;张中弦;;稀土Ce对电弧离子镀涂层颗粒和致密性的改善作用[J];材料保护;2005年12期

10 李争显;张跃飞;王宝云;王少鹏;严鹏;徐重;;钛表面电弧离子镀沉积钯膜层的研究[J];稀有金属材料与工程;2007年12期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 郭慧梅;林国强;王德真;;电弧离子镀尘埃颗粒在脉冲等离子体鞘层中的受力及运动状态研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年

2 闻立时;黄荣芳;;脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年

3 李争显;;真空电弧离子镀技术的发展现状[A];第八届全国真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2007年

4 戚栋;;电弧离子镀容性负载与脉冲偏压电源间的匹配[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年

5 黄美东;孙超;林国强;董闯;黄荣芳;闻立时;;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积机理研究[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年

6 林国强;赵彦辉;白晓;董闯;黄荣芳;闻立时;;脉冲偏压电弧离子镀的低温沉积与大颗粒净化效应[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年

7 张敏;林国强;董闯;闻立时;;脉冲偏压电弧离子镀基础问题及应用研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年

8 张富琦;;受控电弧离子镀技术的高速摄影研究[A];第七届全国电加工学术年会论文集[C];1993年

9 马占吉;任妮;Dmitri A.Karpov;;大型电弧离子镀膜设备[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年

10 李明升;冯长杰;王福会;;电弧离子镀氮化铬涂层的沉积工艺研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年

中国重要报纸全文数据库 前1条

1 记者 田恒江;电弧离子镀膜工艺有突破[N];经济参考报;2001年

中国博士学位论文全文数据库 前4条

1 戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年

2 林国强;脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础研究[D];大连理工大学;2008年

3 黄美东;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究[D];大连理工大学;2002年

4 闫伟;Ti-60合金表面电弧离子镀Ti-Al-Cr高温防护涂层研究[D];东北大学　;2010年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 袁方园;利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数[D];大连理工大学;2009年

2 王文涛;电弧离子镀深管内壁硬膜沉积研究[D];大连理工大学;2009年

3 袁永;电弧离子镀纳米二氧化钛薄膜的制备及相关特性研究[D];暨南大学;2005年

4 孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年

5 谢红梅;电弧离子镀氮化钛、氮化铬薄膜制备及特性研究[D];西南大学;2009年

6 娄茁;电弧离子镀多层膜的工艺及性能研究[D];沈阳工业大学;2011年

7 张永涛;2Cr13/45钢和QAl9-4/Cu电弧离子镀研究[D];太原理工大学;2006年

8 卢国英;脉冲偏压电弧离子镀CrAlN薄膜性能研究[D];大连理工大学;2006年

9 周君灵;电弧离子镀CrAlTiN膜的制备与性能研究[D];广东工业大学;2008年

10 周珊珊;镁合金压铸模用H13钢表面电弧离子镀膜的研究[D];太原理工大学;2010年

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本文编号：1192712