基于碳纳米材料的柔性薄膜器件研究

发布时间：2017-11-22 05:11

  本文关键词：基于碳纳米材料的柔性薄膜器件研究

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【摘要】：近年来,可穿戴或贴合式的传感器在实时生理监测、特殊环境信号检测等领域的需求日益凸显,柔性传感器成为当前研究的热点.碳纳米管(CNT),由于其独特的电学和力学性能,在新型电子器件的发展中扮演着越来越重要的角色.本文介绍了几类典型的基于碳纳米管的柔性红外传感器和微压力传感器.在柔性红外传感器的研制中,利用碳纳米管与SiO_2的界面以及不同掺杂的CNT形成的p-n结,设计和制备了两种不同类型的高灵敏度柔性红外传感器,实验结果证明界面载流子行为对传感器的响应速度有重要的影响.另一方面,利用碳纳米管的优秀导电性,设计和制备了两种力传感器.通过银纳米颗粒修饰的碳纳米管制备的柔性拉力传感器,兼具高拉伸度和高灵敏度,具有优秀的应变系数.此外,利用碳纳米管和三棱锥的微结构制备了响应灵敏的微压力传感器,具有优秀的响应幅度与响应速度.
【作者单位】： 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【基金】：国家重点基础研究发展计划(编号:2015CB351905) 国家自然科学基金(批准号:61306015,11329402)资助项目
【分类号】：TB383.1;O613.71
【正文快照】： 1引言率等很多性质上都远不及传统的硅等无机材料[3,4].另外,基于硅工艺的半导体产业发展很成熟,从成本随着人们生活水平的提高,柔性电子器件逐渐和工艺复杂度上来看,在工业上大面积用有机半导开始扮演着日益重要的角色.在实时健康检测、植入体代替硅等,在相当长一段时间都是

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