柔性金属微纳结构转印机理及方法研究
发布时间：2017-12-22 18:33
本文关键词：柔性金属微纳结构转印机理及方法研究 出处：《苏州大学》2016年硕士论文 论文类型：学位论文
【摘要】：基于金属微纳结构的新功能材料可以广泛应用于平板显示、新能源、传感器等新兴产业领域。传统金属微纳结构制造需要高温加热、化学刻蚀、物理刻蚀等工艺流程,这些流程较难在柔性基底上实现,因而转印技术成为柔性金属微纳器件制备的首选技术。现有的转印方法主要工艺流程为:首先,采用电子束刻蚀、激光直写或自组装等技术获得微结构母模板,采用塑性材料复制母模板形成微纳结构的软模板,该模板称为转印载体;其次,在转印载体表面蒸镀或沉积金属层,在一定条件下,如温度、压力、光照等,将附有金属层的转印载体与受体基底压合;最后,将转印载体与受体基底分离,即可将转印载体表面凸起部分的金属层转移到受体基材表面。带有巯基末端的有机物可以与金属之间形成较强的化学键合力,利用这种键合力可以实现金属表面结构的转移。基于这种基本理论,本文提出了基于巯基表面修饰的金属纳米转印方案:使用浸泡法在柔性基材表面自组装一层带巯基末端的分子层作为转印受体,使用表面镀有功能金属层的微纳结构作为转印受体,施以特定转印条件后,转印载体表面凸起部分的金属层可以成功的转印至转印受体表面。该方案操作简单,转印效率高,可为工业化生产提供一定参考。厌氧紫外胶是一种紫外和厌氧双重固化型胶粘剂,具有普通紫外胶和厌氧胶所不具备的优良特性。受厌氧紫外胶的优良性能的启发,本文提出了基于厌氧紫外胶的金属微纳结构转印方案,通过控制厌氧紫外胶的涂布厚度,在转印过程中构筑厌氧富氧条件,以达到选择性转印的目的,并探究出基于厌氧紫外胶的X椙妒郊岸崛∈搅街肿》桨浮Ｊ笛榻峁砻，
本文编号：1320596
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