类金刚石膜研究进展

发布时间：2018-01-05 12:26

本文关键词：类金刚石膜研究进展　出处：《材料工程》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注。文章综述了类金刚石膜的研究进展和膜的成核机理,展示了类金刚石的应用前景,为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考。
[Abstract]:Diamond-like carbon films have excellent physical and chemical properties such as high hardness, high thermal conductivity, low friction coefficient, good wear resistance and chemical inertia. The research progress and nucleation mechanism of diamond-like carbon (DLC) films are reviewed in this paper, and the application prospect of diamond-like carbon (DLC) films is shown. It provides ideas and references for the research and industrial application of this material.
【作者单位】：西南科技大学核废物与环境安全国防重点学科实验室;香港大学工学院土木工程系;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11304254) 香港研究资助局基金资助(715612,17206714) 西南科技大学核废物与环境安全国防重点学科实验室基金资助(13zxnk11,13zxnk09)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： CHEN Qing-yun1,2,SHI Kai-min2,SU Min-hua2,LYU Hui-yi 1,LUO Yu1,ZENG Chen1(1Key Subject Laboratory of National Defense for RadioactiveWaste and Environmental Security,Southwest University of Science andTechnology,Mianyang 621010,Sichuan,China;2Department

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