磁控溅射法制备负温度系数热敏电阻薄膜材料研究获进展

发布时间：2018-01-05 19:16

  本文关键词：磁控溅射法制备负温度系数热敏电阻薄膜材料研究获进展　出处：《人工晶体学报》2017年10期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 热敏电阻 薄膜材料 磁控溅射法 信息技术水平 测温精度 微小型化 薄膜型 负温度系数 温度测控 电子信息系统

【摘要】：正负温度系数(NTC)热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集成的方向发展。相比于块体陶瓷型热敏电阻,薄膜型NTC热敏电阻更
[Abstract]:The positive and negative temperature coefficient (NTC) thermistor is a common temperature measurement and control element with high temperature measurement accuracy, high sensitivity, good reliability, low cost, long working life and so on. The marine and civil fields are widely used. With the development of electronic industry and information technology. Modern electronic information system is developing towards miniaturization and monolithic integration. Compared with bulk ceramic thermistor, thin film NTC thermistor is much better
【作者单位】： 中国科学院新疆理化所;
【分类号】：TB383.2;TN37
【正文快照】： 负温度系数(NTC)热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集成的方向发展。相比于块体陶瓷型热敏电阻,

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本文编号：1384468