基于不穿丝技术的小孔径拉丝模HFCVD金刚石涂层的温度场仿真及实验研究

发布时间：2018-01-09 01:00

  本文关键词：基于不穿丝技术的小孔径拉丝模HFCVD金刚石涂层的温度场仿真及实验研究　出处：《真空科学与技术学报》2017年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：针对金刚石涂层在小孔径内孔上制备的难点,提出双层热丝布局的不穿丝技术来实现热丝化学气相沉积金刚石薄膜在小孔径拉丝模内孔的沉积。基于有限容积法和正交试验法,对关键沉积区域基体进行了温度场仿真分析,对热丝参数(直径D1、D2,热丝与基体间距S1、S2)进行了仿真优化。选取优化参数组合进行了小孔径拉丝模金刚石涂层制备实验,分别采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对上述方法制备的金刚石涂层进行了表征。结果表明:通过上述优化及实验在小孔径拉丝模内孔表面成功沉积了高质量,均匀性好的金刚石涂层,为其批量化制备提供了关键技术支撑。
[Abstract]:Based on the finite volume method and the orthogonal test method , the diamond coating prepared by the above - mentioned method is characterized by the scanning electron microscope and the Raman spectrometer . The results show that the diamond coating with high quality and good uniformity is successfully deposited on the surface of the small pore diameter drawing die by scanning electron microscope and Raman spectrometer . The key technology support is provided for the batch preparation .

【作者单位】： 上海交通大学机械与动力工程学院;
【分类号】：TB306
【正文快照】： 拉丝模的内孔表面的硬度、摩擦系数和抗磨损性等性能,对于模具自身寿命、产品的表面质量和尺寸精度、生产效率有重大的影响。热丝化学气相沉积(Hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)金刚石薄膜以其极高的硬度、热导率,极好的耐磨性、化学稳定性和极低的摩擦系数等优

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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