反应离子刻蚀制备石墨烯纳米盘阵列

发布时间：2018-03-21 20:36

  本文选题：石墨烯　切入点：化学气相沉积　出处：《人工晶体学报》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：采用化学气相沉积法以乙醇为碳源在铜箔生长的单层高质量的石墨烯并将其转移到SiO_2/Si基底上。然后在通过自组装的方法在石墨烯表面覆盖一层单层的PS微球阵列。采用反应离子刻蚀的方法在一定的刻蚀条件下对其进行刻蚀,随着刻蚀的时间增加,PS微球的会被逐渐刻蚀掉,石墨烯也会在这个过程中随着被刻蚀。将残留的PS微球杂质去掉后,会在SiO_2/Si基底上呈现出排列规整的石墨烯纳米盘阵列。通过场发射扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱对石墨烯纳米盘及其形成过程进行表征和分析,为后续制备高质量石墨烯纳米带、石墨烯纳米点、石墨烯纳米盘提供参考。
[Abstract]:High quality graphene grown in copper foil was prepared by chemical vapor deposition with ethanol as carbon source and transferred to SiO_2/Si substrate. A single layer of PS microsphere array was then coated on the surface of graphene by self-assembly method. The reactive ion etching method was used to etch it under certain etching conditions. As the etching time increases, the PS microspheres will gradually be etched, and the graphene will also be etched along with the etching process. A structured array of graphene nanowires is presented on the SiO_2/Si substrate. The graphene nanowires and their formation processes are characterized and analyzed by field emission scanning electron microscopy (SEM) and Raman spectroscopy to prepare high quality graphene nanoribbons. Graphene nanowires, graphene nanodisks for reference.
【作者单位】： 西南科技大学无机非金属材料国家重点实验室;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】：国家自然科学基金(11404304) 国家重点科学仪器和设备开发项目(2014YQ090709) 中国工程物理研究院科学技术发展基金(2015B0302003)
【分类号】：TQ127.11;TB383.1

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1645442