磁控溅射高温固体自润滑涂层的研究与进展

发布时间：2018-03-23 01:35

  本文选题：高温固体自润滑　切入点：磁控溅射　出处：《材料导报》2017年03期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：近年来,高温固体自润滑涂层在许多领域得到了快速发展,尤其是磁控溅射技术制备的微纳米高温固体自润滑涂层可以满足航空领域应用中对涂层厚度、力学性能、摩擦性能的更高要求。在综合国内外大量文献的基础上,对磁控溅射方法制备的高温固体自润滑涂层的材料体系、工艺参数优化和涂层结构设计取得的进展进行了综述,通过分析涂层组成相影响机理、工艺改进措施和涂层复杂界面结构,提出未来高温固体自润滑涂层有待进一步研究的问题。
[Abstract]:In recent years, high temperature solid self-lubricating coatings have been developed rapidly in many fields, especially the micro-nano-high temperature self-lubricating coatings prepared by magnetron sputtering can meet the requirements of coating thickness and mechanical properties in aeronautical applications. Based on a large number of literatures at home and abroad, the material system, process parameters optimization and structure design of high temperature solid self-lubricating coatings prepared by magnetron sputtering are reviewed. By analyzing the influence mechanism of coating phase composition, process improvement measures and complex interface structure of coating, the future problems of high temperature solid self-lubricating coating need to be further studied.
【作者单位】： 中国民航大学中欧航空工程师学院;
【基金】：国家自然科学基金(51301198) 中央高校基本科研业务费中国民航大学专项(ZXH2011C011)
【分类号】：TB306

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1651344