UV固化活化浆料的制备及快速化学镀铜的应用研究
【图文】:
(a)无添加剂;(b)20mg/L邋亚铁氰化钟;(c)3mg/L邋2-1VIBT;逡逑(d)20mg/L邋有机物邋M;邋(e)20mg/L邋吐温-80;邋(f)4mg/L邋硫脲逡逑Fig.邋2-10邋SEM邋analysis邋of邋copper邋deposit:逡逑(a)no邋additives;邋(b)邋20mg/L邋K4Fe(CN)6;(c)3ing/L邋2-MBT;逡逑(d)邋20mg/L邋Organic邋compounds邋M;(e)邋20mg/L邋Tween-80;(f)4mg/L邋Tu逡逑(3)复合添加剂对化学镀铜的影响逡逑由于硫脲的镇层质量较差;亚铁氰化钾和吐温-80对沉积速率和镇液稳定性响不大;2-MBT稳定镀液的能力有限;而有机物M能在提高沉积速率的同时增逡逑液稳定性,且镀层光亮细致,兼有加速剂、稳定剂和光亮剂的功能。因此以有机同2-MBT、吐温-80和亚铁氰化钾复配,设计正交试验,考察了复合添加剂对沉逡逑率及镀液稳定性的影响,以期进一步改善镀液性能。正交试验因素水平表如表2-6,逡逑结果如表2-7,方差分析结果如表2-8所示。稳定性测试按2.2.3.2的操作进行,逡逑
Fig.3-15邋Effect邋of邋THPED邋concentration邋on邋cathodic邋polarization邋curve邋of逡逑3.5.3添加EDTA.2Na对Cu(丨丨)的阴极极化曲线的影响逡逑EDTA.2Na对Cii(II)阴极极化曲线的影响如图3-16所示。由图可知,EDTA.2Na逡逑对峰1基本无影响,对峰2电流密度的影响很明显,随EDTA.2Na浓度的增大,峰电逡逑流密度先增大后减小。EDTA‘2Na浓度为2.3g/L时,峰电流为3.808邋mA_cm_2;邋EDTA‘2Na逡逑浓度为5.8g/L时,峰电流密度增至4.386邋mA.cm_2;继续增大EDTA‘2Na浓度,峰电逡逑流密度降低。这与工艺研宄结果吻合,当EDTA_2Na浓度较小时,仅能起到消耗THPED逡逑配位能力的作用,,此时溶液中主要以Cu-THPED配合物为主;n)TA_2Na过量后,配逡逑位体含量过高,沉积速率减慢。逡逑47逡逑
【学位授予单位】:广东工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2015
【分类号】:TN41;TB306
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本文编号:2580148
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