面向生物传感的管状多级结构金属微纳米马达的研究
【图文】:
1-1(A)普通 A4 纸在外力作用下卷曲成为管状结构; (B)纳米薄膜在内应力作用下卷成为管状结构。008 年时候,梅永丰等人使用聚合物作为牺牲层,发展出了一套成熟的卷曲纳米薄膜技术,术制备出了基于管状结构的微型马达(微型喷气发动机)[19]。这些结构基于预应力纳米薄,[9]从而能够以确定性的方式制造管状结构,同时这些材料在设计和组成方面显示出非凡。原则上,任何类型只要是可以进行光刻的衬底(图 1-2A)都适用于该技术。具体过程为牲层上预设图案之后,再以一定的倾斜角度来蒸发源材料,沉积在拥有牺牲层的基底上形同时产生没有材料沉积的阴影部分。该部分提供了用于提供牺牲层的选择性蚀刻的间隙。由含有压缩应变(黄色,图 1-2B)的第一沉积层和具有拉伸应变(蓝色,图 1-2B)的上层部应变的差异组成。蚀刻牺牲层释放多个功能层且允许晶格重新排列,由此上层收缩同时发生卷曲(图 1-2B)。当然,我们可以通过调整沉积角度,厚度和温度等参数来制备直径 1mm 至 30mm 的 MNMs[20]。如图 1-2C 所示,多个功能层可以构成卷起的 MNMs,并且还其他的牺牲层来形成紧凑的管状器件,这些管状器件能够将不同的功能集成到单个 MNM水溶性牺牲层的使用是一项值得在未来被深入研究的方向,例如微生物与生物分子的功能
曲纳米技术制备卷曲 MNMs 的原理图。 A)在基板预设图案化的牺牲层,然属,,这为确定性卷曲创造了一个预设方向[31]。B)卷曲纳米技术制备的双层卷C)卷曲纳米技术制备的多层卷曲 MNMs[33,34]。D)固定在基底上的氧化物 M的方法,可以很轻易地在牺牲层上将无机纳米薄膜卷曲为管状结构。需要注气相沉积(PVD)工艺来说,两个参数对微米管的形成最为关键,第一个是是材料的沉积速率。改变材料的沉积速率会直接影响材料的管状直径,进而里,微米管的直径能够很轻易地被纳米薄膜的厚度以及薄膜沉积过程的参数进米马达卷曲技术的应用薄膜自卷曲技术制备获得的MNMs因其简便的制备方法以及优秀的物理化学学、生物学等领域有广阔的应用前景。这种 MNMs 从外界获取能量,实现了自然界中的生物运动。近几年卷曲微 MNMs 应用于化学[35,36]、生物医药[37]、获得了显著的研究成果。[40]
【学位授予单位】:东南大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TB383.1
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本文编号:2634960
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