磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性质优化研究
发布时间：2020-12-06 12:25
透明导电薄膜在太阳能电池、电磁屏蔽、发光与显示等领域有着广泛的应用。目前,锡掺氧化铟薄膜（ITO）占据着透明导电薄膜市场的主导地位,但由于金属铟价格不断增长以及ITO的机械脆性,已经无法满足市场对柔性透明导电材料的需求,需要发展新的材料或结构。以介质层/金属/介质层的夹层结构为基础的透明导电薄膜具有优良的柔性、导电性和透光性,成为最有希望代替ITO薄膜的候选材料之一。本工作利用磁控溅射方法制备了铝掺氧化锌（AZO）/Ag/铝掺氧化锌（AZO）的夹层结构透明导电薄膜,在制备过程中通过氧等离子体处理增大底层AZO的表面能和粘附力,进而在其表面生长出平整均匀的超薄Ag层,并研究了氧等离子体处理对多层薄膜的光电性质和低辐射性能的影响。主要研究内容包括:1、利用氧等离子体处理底层AZO,制备出平整均匀的超薄Ag层,为制备出光电性能优异的金属夹层透明导电薄膜奠定了良好的基础。通过接触角和原子力测试了底层AZO表面能和粘附力,我们发现:经氧等离子体处理之后,AZO表面形成大量的含氧官能团,使底层AZO的表面能增大,促使后续生长的金属Ag沿平面生长,减小形成连续Ag薄膜的临界厚度及其表面粗糙度。2、根...
【文章来源】：东北师范大学吉林省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：61 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
(a)氧化锌的晶格结构；(b)碳纳米管和石墨烯的结构示意图；(c)银纳米纤维的扫描电镜图片；(d)金属夹层结构透明导电薄膜示意图
1.2 (a) 触摸屏示意图；(b) 电阻式触摸屏结构图；(c) 电容式触摸屏结构图示器成为人们日常生活必不可少的一部分，我们使用的手机、电，大约会 17 亿个显示设备被生产使用[42]。它也从最开始的 CRT被普及的液晶显示器。图 1.2 是液晶显示器的示意图，上下两层在中间，底层透明电极上布有晶体管，上层透明电极设有彩色滤层电极之间的电压控制液晶分子的转向，从而使光线在液晶分子达到显示的目的。显而易见，透明电极在显示器中发挥着重要的影响显示器性能的好坏。目前，液晶显示屏中常用锡掺杂氧化电极，因为 ITO 薄膜具有较小的面电阻和较高的光透过率。并的特点，易于在其表面进行电路布置[43]。
2 (a) 触摸屏示意图；(b) 电阻式触摸屏结构图；(c) 电容式触摸屏结器成为人们日常生活必不可少的一部分，我们使用的手机、大约会 17 亿个显示设备被生产使用[42]。它也从最开始的 C普及的液晶显示器。图 1.2 是液晶显示器的示意图，上下两中间，底层透明电极上布有晶体管，上层透明电极设有彩色电极之间的电压控制液晶分子的转向，从而使光线在液晶分到显示的目的。显而易见，透明电极在显示器中发挥着重要影响显示器性能的好坏。目前，液晶显示屏中常用锡掺杂氧极，因为 ITO 薄膜具有较小的面电阻和较高的光透过率。特点，易于在其表面进行电路布置[43]。
【参考文献】：
期刊论文
[1]Soft chemistry based sponge-like indium tin oxide（ITO）——a prospective component of photoanode for solar cell application[J]. Prasanta Kumar BISWAS,Nilanjana DAS. Frontiers of Materials Science. 2015(02)
[2]透明导电薄膜的研究进展[J]. 刘晓菲,王小平,王丽军,杨灿,王子凤. 激光与光电子学进展. 2012(10)
[3]遮阳系数的原理及其测试分析[J]. 任俊,王鹏. 暖通空调. 2012(03)
[4]溅射-置换法制备染料敏化太阳能电池对电极Pt/FTO[J]. 王耀琼,魏子栋,蔡洪英,张骞,赵巧玲. 物理化学学报. 2010(11)
[5]基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法[J]. 栗大超,徐临燕,傅星,胡小唐. 功能材料与器件学报. 2008(02)
[6]接触角法测量高分子材料的表面能[J]. 王晖,顾帼华,邱冠周. 中南大学学报(自然科学版). 2006(05)
[7]氧等离子体处理对ITO薄膜表面性能的影响[J]. 刘陈,朱光喜,刘德明. 液晶与显示. 2006(04)
[8]柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J]. 何维凤,赵玉涛,李素敏,李长生. 材料导报. 2005(03)
博士论文
[1]电纺模板法制备银/铜网络透明电极及其物性研究[D]. 李鹏.东北师范大学 2017
[2]银纳米线与金属氧化物复合型透明导电薄膜的制备及其光电特性研究[D]. 闫兴振.东北师范大学 2016
硕士论文
[1]裂隙模板法制备柔性金属网格及其在电加热器中的应用[D]. 薛小丹.东北师范大学 2017
本文编号：2901363
【文章来源】：东北师范大学吉林省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：61 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
(a)氧化锌的晶格结构；(b)碳纳米管和石墨烯的结构示意图；(c)银纳米纤维的扫描电镜图片；(d)金属夹层结构透明导电薄膜示意图
1.2 (a) 触摸屏示意图；(b) 电阻式触摸屏结构图；(c) 电容式触摸屏结构图示器成为人们日常生活必不可少的一部分，我们使用的手机、电，大约会 17 亿个显示设备被生产使用[42]。它也从最开始的 CRT被普及的液晶显示器。图 1.2 是液晶显示器的示意图，上下两层在中间，底层透明电极上布有晶体管，上层透明电极设有彩色滤层电极之间的电压控制液晶分子的转向，从而使光线在液晶分子达到显示的目的。显而易见，透明电极在显示器中发挥着重要的影响显示器性能的好坏。目前，液晶显示屏中常用锡掺杂氧化电极，因为 ITO 薄膜具有较小的面电阻和较高的光透过率。并的特点，易于在其表面进行电路布置[43]。
2 (a) 触摸屏示意图；(b) 电阻式触摸屏结构图；(c) 电容式触摸屏结器成为人们日常生活必不可少的一部分，我们使用的手机、大约会 17 亿个显示设备被生产使用[42]。它也从最开始的 C普及的液晶显示器。图 1.2 是液晶显示器的示意图，上下两中间，底层透明电极上布有晶体管，上层透明电极设有彩色电极之间的电压控制液晶分子的转向，从而使光线在液晶分到显示的目的。显而易见，透明电极在显示器中发挥着重要影响显示器性能的好坏。目前，液晶显示屏中常用锡掺杂氧极，因为 ITO 薄膜具有较小的面电阻和较高的光透过率。特点，易于在其表面进行电路布置[43]。
【参考文献】：
期刊论文
[1]Soft chemistry based sponge-like indium tin oxide（ITO）——a prospective component of photoanode for solar cell application[J]. Prasanta Kumar BISWAS,Nilanjana DAS. Frontiers of Materials Science. 2015(02)
[2]透明导电薄膜的研究进展[J]. 刘晓菲,王小平,王丽军,杨灿,王子凤. 激光与光电子学进展. 2012(10)
[3]遮阳系数的原理及其测试分析[J]. 任俊,王鹏. 暖通空调. 2012(03)
[4]溅射-置换法制备染料敏化太阳能电池对电极Pt/FTO[J]. 王耀琼,魏子栋,蔡洪英,张骞,赵巧玲. 物理化学学报. 2010(11)
[5]基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法[J]. 栗大超,徐临燕,傅星,胡小唐. 功能材料与器件学报. 2008(02)
[6]接触角法测量高分子材料的表面能[J]. 王晖,顾帼华,邱冠周. 中南大学学报(自然科学版). 2006(05)
[7]氧等离子体处理对ITO薄膜表面性能的影响[J]. 刘陈,朱光喜,刘德明. 液晶与显示. 2006(04)
[8]柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J]. 何维凤,赵玉涛,李素敏,李长生. 材料导报. 2005(03)
博士论文
[1]电纺模板法制备银/铜网络透明电极及其物性研究[D]. 李鹏.东北师范大学 2017
[2]银纳米线与金属氧化物复合型透明导电薄膜的制备及其光电特性研究[D]. 闫兴振.东北师范大学 2016
硕士论文
[1]裂隙模板法制备柔性金属网格及其在电加热器中的应用[D]. 薛小丹.东北师范大学 2017
本文编号：2901363
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