PET基柔性O/M/O结构透明薄膜电极的制备及光电性能研究

发布时间：2020-12-18 15:44

　　氧化物-金属-氧化物（Oxide-Metal-Oxide,OMO）透明导电薄膜结构与单层透明导电氧化物（TCO）薄膜相比,具有很多优点:降低薄膜整体厚度,增加柔韧性,利于工业化生产,薄膜稳定性好等。但由于金属层的加入,薄膜的导电性和透光性之间存在着严重的矛盾,通过掺杂对中间层金属进行改性,以改变金属薄膜在氧化物上的生长方式,获得超薄的连续金属膜层,可以大幅提高薄膜的光电性能。本文采用室温磁控溅射的方法,在柔性基底上沉积OMO结构薄膜电极,利用反应磁控溅射的方法沉积中间金属A1层,研究沉积时间和氧气流量对中间金属层A1在不同氧化物表面生长时的表面形貌、光学性能以及电学性能的影响,并分析了薄膜光电性能与薄膜微观结构、表面形貌等的内在联系,探索了薄膜的最佳制备条件。本文制备的ITO-A1-ITO结构薄膜电极,底层和顶层ITO厚度仅20nm,薄膜总厚度在50-70 nm之间,薄膜柔韧性有极大改善,通过FESEM、AFM等测试方法研究了 A1薄膜在ITO表面的生长过程发现,A1在ITO表面以三维颗粒状方式生长。对中间层进行微量的氧掺杂后,A1薄膜由三维颗粒状生长变为二维层状生长,当氧气流量为0.... 

【文章来源】：山东大学山东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：89 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
第一章 绪论
    1.1 引言
    1.2 透明导电薄膜的研究现状
2O₃薄膜及其掺杂体系">        1.2.1 In₂O₃薄膜及其掺杂体系
        1.2.2 ZnO薄膜及其掺杂体系
2薄膜及其掺杂体系">        1.2.3 SnO₂薄膜及其掺杂体系
        1.2.4 碳纳米材料透明导电薄膜
    1.3 氧化物.金属-氧化物结构透明导电薄膜
    1.4 透明导电薄膜的制备技术
        1.4.1 真空蒸发法
        1.4.2 化学气相沉积
        1.4.3 溶胶-凝胶法
        1.4.4 喷雾热分解法
        1.4.5 磁控溅射法
    1.5 选题意义及研究内容
第二章 实验方案及研究方法
    2.1 技术路线图
    2.2 薄膜电极的制备方法
        2.2.1 试验用原材料及设备
x-Oxide电极的制备方法">        2.2.2 Oxide-AlO_x-Oxide电极的制备方法
    2.3 薄膜电极的分析测试方法
        2.3.1 扫描电子显微镜
        2.3.2 原子力显微镜
        2.3.3 紫外/可见/近红外分光光度计
        2.3.4 四探针电阻测量仪
        2.3.5 霍尔效应测试系统
x/ITO透明导电薄膜的制备及表征">第三章 ITO/AlO_x/ITO透明导电薄膜的制备及表征
x薄膜微观形貌表征">    3.1 ITO/AlO_x薄膜微观形貌表征
        3.1.1 氧掺杂前后Al薄膜微观形貌演变
x表面粗糙度分析">        3.1.2 ITO/AlO_x表面粗糙度分析
x薄膜表面高度分析">        3.1.3 ITO/AlO_x薄膜表面高度分析
x/ITO薄膜电极的光学性能">    3.2 ITO/AlO_x/ITO薄膜电极的光学性能
        3.2.1 ITO/Al/ITO的光学性能
x/ITO的光学性能">        3.2.2 ITO/AlO_x/ITO的光学性能
x/ITO薄膜电极的电学性能">    3.3 ITO/AlO_x/ITO薄膜电极的电学性能
        3.3.1 ITO/Al/ITO的电学性能
x/ITO的电学性能">        3.3.2 ITO/AlO_x/ITO的电学性能
x/ITO薄膜电极光电性能分析">    3.4 ITO/AlO_x/ITO薄膜电极光电性能分析
    3.5 本章小结
x/ZnO透明导电薄膜电极">第四章 ZnO/AlO_x/ZnO透明导电薄膜电极
x薄膜的表面形貌">    4.1 ZnO/AlO_x薄膜的表面形貌
x表面形貌的影响">        4.1.1 氧掺杂对ZnO/AlO_x表面形貌的影响
x表面粗糙度的影响">        4.1.2 氧掺杂对ZnO/AlO_x表面粗糙度的影响
x表面高度的影响">        4.1.3 氧掺杂对ZnO/AlO_x表面高度的影响
x/ZnO薄膜光学性能的影响">    4.2 氧掺杂对ZnO/AlO_x/ZnO薄膜光学性能的影响
        4.2.1 ZnO/Al/ZnO的光学性能
x/ZnO的光学性能">        4.2.2 ZnO/AlO_x/ZnO的光学性能
x/ZnO薄膜的电学性能">    4.3 氧掺杂对ZnO/AlO_x/ZnO薄膜的电学性能
        4.3.1 ZnO/Al/ZnO的电学性能
x/ZnO的电学性能">        4.3.2 ZnO/AlO_x/ZnO的电学性能
x/ZnO薄膜光电性能分析">    4.4 ZnO/AlO_x/ZnO薄膜光电性能分析
    4.5 本章小结
第五章 结论
参考文献
致谢
附录
附件


【参考文献】：
期刊论文
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博士论文
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[3]纳米碳材料的制备及其薄膜透明导电和场发射性能的研究[D]. 钱敏.华东师范大学 2012
[4]ZnO基透明导电膜的制备与掺杂研究[D]. 龚丽.浙江大学 2011
[5]ZnO薄膜的掺杂和光电性质研究[D]. 孙利杰.中国科学技术大学 2010



本文编号：2924249