微型磁通门纳米孔薄膜铁芯微观结构改进方案

发布时间：2021-01-04 07:23

　　针对薄膜铁芯传统制作方法所得纳米孔洞结构的分布与尺度完全随机不可控的问题,提出了微型磁通门纳米孔薄膜铁芯微观结构改进方案。该方案采用二步阳极化法进行多孔氧化铝模板生长,并在模板基础上完成可控的纳米多孔软磁薄膜的制备。实验验证结果表明,薄膜铁芯中的纳米多孔微结构,能够降低铁芯的磁畴体积和磁畴间的相互作用数量,从而有效改善薄膜铁芯的磁性能,降低器件噪声。 

【文章来源】：探测与控制学报. 2020年03期 北大核心

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

几种薄膜铁芯的电压噪声

以铜纳米线阵列作为阴极,以镍板作为阳极,进行电镀铁镍的工艺。电镀时在铁芯的感应线圈方向施加磁场有助于提高铁芯的软磁性能,电镀时间为10 min。硅基多孔铁芯的制作流程见图1。3 实验验证与分析

采用扫描电子显微镜(SEM)观测多孔铁芯的外观形貌,如图2所示。构成纳米多孔结构薄膜的晶体颗粒较小,有着较好的外形尺寸和均一性,在模板基体上有规律地分布。薄膜表面呈现规则分布的纳米孔洞,孔洞中部保留有铜纳米线。由于铜线不影响薄膜的磁特性,故无需去除[15]。对铁芯的多个区域用能谱仪(EDS)进行了成分测试,如图3所示,EDS特征峰比较简洁,各元素特征峰的峰背较高。测试结果表明,Fe的质量含量为20.13%,Ni的质量含量为79.87%,符合预期值。图3 EDS成分分析

【参考文献】：
期刊论文
[1]微型磁通门传感器的低功耗结构设计[J]. 吕辉,刘诗斌.  传感器与微系统. 2015(03)



本文编号：2956396