柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究

发布时间：2021-01-07 07:12

　　为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响。通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40⁴5nm,Ag层厚度8nm时,在可见光波段的透过率高达到92%,电阻率低至4.0×10^-5Ω·cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10^-2Ω^-1。得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能。 

【文章来源】：光学与光电技术. 2016,14(06)

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 引言
2 AZO/Ag/AZO多层薄膜制备与特性研究
    2.1 衬底条件对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响
    2.2 Ag层厚度的优化
        2.2.1 Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜电学性能影响
        2.2.2 Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光学性能影响
    2.3 AZO层厚度的优化
        2.3.1 AZO层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜电学性能影响
        2.3.2 AZO层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光学性能影响
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电膜的性能研究[J]. 贾芳,乔学亮,陈建国,李世涛,王国锋.  光电工程. 2007(12)



本文编号：2962143