基于聚焦离子束技术制备金刚石/M（M=Cu,Al,AlN）双相复合材料HRTEM样品

发布时间：2021-01-15 03:33

　　分别以金刚石/Cu,金刚石/Al,金刚石/Al N等双相复合材料为研究对象,应用聚焦离子束（FIB）场发射扫描双束电镜,成功制备了含双相及界面结构的高分辨透射电镜（HRTEM）样品,并减小了Ga离子的非晶损伤层。HRTEM成功观测到金刚石与不同材料复合时的晶体共格/半共格/非共格关系,为进一步研究金刚石双相复合材料的界面成分和晶体结构奠定了基础。 

【文章来源】：电子显微学报. 2016,35(01)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 聚焦离子束系统的工作原理
2 实验
3 基于FIB的金刚石/ M HRTEM样品制备
    3. 1 Pt沉积
    3. 2 粗切与细切
    3. 3 U切
    3. 4 终减薄
    3. 5 清洗
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备[J]. 张少婧,徐宗伟,房丰洲,胡小唐.  天津大学学报. 2010(05)
[2]聚焦离子束系统原理、应用及进展[J]. 于华杰,崔益民,王荣明.  电子显微学报. 2008(03)



本文编号：2978140