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自掺杂Me-MeO x 纳米复合光热转换涂层的设计、制备及性能研究

发布时间:2021-01-31 06:09
  光热转换技术是将太阳能转换为热能的最为直接和有效的方式,在传统的太阳能水热装置、太阳能空气干燥设备、太阳能集热发电技术中,关键的光热转化效率问题是涂覆在集热装置表面的光热转换涂层,为了获得高的光吸收性能,传统的涂层工艺需要采用一个复杂的共溅射技术,通常存在结构工艺复杂、成本高的问题,不利于实际的工业化生产。本文引入自掺杂设计思路,利用单一靶材的反应溅射技术,设计了一种新型自掺杂Me-MeOx(Me=W或Mo)光热转换涂层,其具有非常优异的光学吸收性能和热稳定性能,并且溅射工艺简单、制造成本低、光学吸收易调控、结构易扩展,非常适合于传统的低成本、大规模的中高温光热利用技术。将新型的自掺杂光热转换技术应用于调控人体温度的可穿戴技术中,可以克服传统的采用焦耳热效应和反射红外波长的被动式加热方式,达到主动吸收太阳光温暖人的身体,并反射人体红外热辐射进行保温的光热效果,在户外应急取暖衣料方面具有非常好的应用价值,拓宽了光热转换涂层在柔性、可穿戴人体热转换技术中的应用。具体的研究内容如下所述:(1)研究了单层WOx薄膜的本征吸收特性,引入了介质性WOx、SiO2和Al2O3薄膜作为减反射层,分析其... 

【文章来源】:陕西科技大学陕西省

【文章页数】:140 页

【学位级别】:博士

【部分图文】:

自掺杂Me-MeO x 纳米复合光热转换涂层的设计、制备及性能研究


图1-1双金属陶瓷基太阳能光热转换涂层的结构示意图

工作原理,溅射


Fig.?2-1?(a)?Reactive?magnetron?sputtering?system?and?(b)?operational?principle??2.1.3涂层制备方法??本文选用射频电源作为溅射源,在不同基底上制备W-0和Mo-O基薄膜。首先,利??用机械泵和分子泵将溅射腔室的真空度抽到P.OxK^Pa,然后通入Ar作为溅射气体,并??调节真空室内的压力到所需濺射的气压值,设定射频电源的溅射功率值,启动射频电源??后,靶材表面辉光放电,在电场的作用下将溅射出的粒子沉积到基底表面上。当真空室??通入〇2作为反应气体,被溅射出的粒子与之反应生成相应的氧化物,并沉积到基底表面??上。通过控制溅射气压、溅射功率、Ar/02的流量比、溅射时间等工艺参数,可以制备??出不同结构、成分和厚度的薄膜。??在溅射涂层之前,所有的基片分别在丙酮、酒精和去离子水中被超声波清洗15?20??min,随后被N2吹干,然后将基片固定在样品旋转台上,并在Ar等离子气氛下轰击10???20?min以去除基片上的杂质,提高涂层和基片的结合力,其中偏压设定为450?V,气压??设定为5Pa。另外,所有的靶材被预溅射10?20min以清除靶材表面的氧化层,提高沉??积涂层的纯度。??2.1.4测试与表征方法??

吸收率,发射率,不同厚度,气压


其在可见光波段具有非常优异的本征光谱吸收性能[144]。??基于此,分别在0.6?Pa和1.0?Pa的气压下,在铝基底上溅射了?一系列的不同厚度的??WOx薄膜,其吸收率和发射率如图2-2所示,可知薄膜吸收性能的变化对厚度是非常敏??感的。随着厚度的增加,\¥(\薄膜的吸收率先逐渐地增加到最大值,然后逐渐地减小;??发射率呈现逐渐增加的趋势。在0.6?Pa下制备的厚度为46?nm的WOx薄膜的吸收率最大??为0.82,发射率为0.054;然而随着厚度持续增加,吸收率逐渐地降低到0.755,发射率??轻微地增加到0.056。对于1.0?Pa下制备的厚度为60?nm的WOx薄膜,其吸收率最大为??0.836,发射率为0.053;随着厚度增加,吸收率表现为轻微的减小,当厚度为86?nm左??右时,吸收率降低为0.823,发射率增加到0.058。??(a)?l.o,?1?(b>i.〇|???Pressure:?0.6?Pa?.?〇?〇g?Pressure:?1.0?Pa?.?q?Qg??§0.8?■?^§?§0.8-??* ̄ ̄??§??B?y?^?-?0.06?2?B?y?^??0.06?g??I06;?:〇.〇4|?:〇.〇4|??Sofar?absorptance?I?o?■§?,?Solar?absorptance?I?§??c/5?〇

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本文编号:3010341

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