硅纳米线的制备及应用研究进展

发布时间：2021-03-01 15:16

　　介绍了硅纳米线在制备技术方面的最新进展,综述了硅纳米线两种不同的生长模式（"自上而下"和"自下而上"）,以及在两种生长模式下硅纳米线的制备方法,即化学气相沉积、分子束外延、激光烧蚀、氧化物辅助生长、溶液法、电子束光刻、纳米压印光刻和金属辅助化学刻蚀等,并对各种方法的优缺点进行了仔细叙述,总结了硅纳米线的两种典型生长方向（平面和垂直）的研究现状。最后阐述了近年来硅纳米线在电子器件、传感器件和太阳能电池的应用情况,并展望其发展趋势,为科研人员进一步开拓硅纳米线研究提供一定参考。 

【文章来源】：人工晶体学报. 2020,49(09)北大核心

【文章页数】：9 页

【部分图文】：

化学气相沉积法生长硅纳米线

MBE生长硅纳米线

该生长机理关键在于系统中发生了歧化反应,由SiO很容易歧化得到Si与SiO2,得到的硅纳米线是由晶体硅核及一层无定形硅氧化合物组成。目前OAG法的优点是产物没有金属污染,操作简单;而缺点是反应温度较高,设备要求高,不好控制硅纳米线生长。图4 氧化辅助生长硅纳米线示意图[21]

【参考文献】：
期刊论文
[1]不同制备条件对硅纳米线的形貌和反射率影响[J]. 赵诚,吴子华,谢华清,毛建辉,王元元,余思琦.  上海第二工业大学学报. 2020(01)
[2]硅纳米线场效应管生物传感器在细菌、病毒检测中的应用[J]. 田喻,谢新武,张志伟,徐新喜,田丰,周卫斌,杜耀华.  军事医学. 2018(06)
[3]硅纳米线和硅纳米孔结构多晶硅太阳能电池性能比较[J]. 林星星.  上海电机学院学报. 2017(05)
[4]硅纳米线场效应管生物传感器对蛋白质检测的研究进展[J]. 孟庆洋,王彤.  中国组织工程研究. 2017(26)
[5]硅纳米线和聚3-十二烷基噻吩混合薄膜在场效应晶体管中的应用研究[J]. 朱昊云,黄威,黄宇立,汪伟志.  化学学报. 2016(05)
[6]硅纳米线场效应晶体管生物传感器在肿瘤分子诊断中的应用[J]. 鲁娜,高安然,戴鹏飞,宋世平,樊春海,王跃林,李铁.  科学通报. 2016(Z1)
[7]纳米压印光刻技术综述[J]. 魏玉平,丁玉成,李长河.  制造技术与机床. 2012(08)
[8]硅纳米线的发光性能研究及其应用前景[J]. 李甲林,唐元洪,李小祥,李晓川.  人工晶体学报. 2008(04)
[9]纳米银/环氧树脂复合物的电阻和击穿特性研究[J]. 王乐,徐曼,孙颖,鲁宁,曹晓珑.  绝缘材料. 2006(04)
[10]激光烧蚀法制备纳米粉的现状及前景[J]. 王泽敏,曾晓雁.  激光杂志. 2002(02)

博士论文
[1]硅纳米场效应管生物传感器对肿瘤标志物的检测[D]. 包增涛.南京医科大学 2019

硕士论文
[1]纳米尺度新结构MOS器件关键工艺技术研究[D]. 孙帅.长春理工大学 2012



本文编号：3057665