红外透明导电膜的制备与应用

发布时间：2021-03-04 05:59

　　红外透明导电膜作为既可以在红外波段透光又具有良好的导电性能的新型材料,可以被广泛的应用在航空航天、军工防御、光电传感技术、电池能源等高科技行业中,例如红外成像仪、红外热分析仪、航天导弹窗口、航天光电系统、红外电极等。目前为止,国内外研究的重点仍然是在可见光以及近红外光波段的导电薄膜材料,由于其等离子振荡频率ω_p极大,截止波长延伸不到中红外或者远红外波段,不能透射中红外光,因此研制出高性能的中红外透明导电膜具有十分深远的意义。通过掺杂,可以改善金属氧化物薄膜的光电特性,而且可以具有很宽的禁带宽度,等离子频率可以延伸到中红外。现今在可见光及近红外波段,已经可以获得性能优异的TCO薄膜,但是中红外透明导电膜的研究较少。本文利用磁控溅射法制备了中红外透明导电W掺杂In₂O₃薄膜、ZnO薄膜、CuCrO₂薄膜以及IWO/Cu/IWO复合薄膜,研究分析了其光电性能。主要工作内容如下:（1）利用射频磁控溅射法制备了IWO薄膜,并研究了不同溅射功率,不同退火温度对IWO薄膜结构、光学及电学特性的影响。研究发现退火温... 

【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：73 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

金属网栅结构示意图

第一章绪论3激光直写方法在红外基底上制备出了线宽5μm，周期为350μm，总透过率高达97%的金属网栅薄膜[4]。2007年，哈尔滨工业大学谭久彬、陆振刚等人利用激光直写法制备出了线宽3.52μm。周期为320μm的圆环型金属网栅薄膜[5]，如图1.2所示，透光率在97%，屏蔽效率可达1.5dB，这种圆环形金属网栅薄膜解决了传统方格网栅薄膜高级次衍射能量分布的问题。图1.2圆环形金属网栅薄膜2010年，中国空空导弹研究院张运强、潘国庆[6]等人采用激光写直法在球型的蓝宝石整流罩内表面成功制备了线宽8μm，周期为350μm的金属网栅薄膜，该薄膜在1064nm波段的透过为87.8%，如图1.3所示。图1.3（a）蓝宝石整流罩(b)蓝宝石整流罩内的金属网栅薄膜尽管金属网栅薄膜对电磁波的屏蔽效率极高而且在红外具有高的透过率，但

第一章绪论3激光直写方法在红外基底上制备出了线宽5μm，周期为350μm，总透过率高达97%的金属网栅薄膜[4]。2007年，哈尔滨工业大学谭久彬、陆振刚等人利用激光直写法制备出了线宽3.52μm。周期为320μm的圆环型金属网栅薄膜[5]，如图1.2所示，透光率在97%，屏蔽效率可达1.5dB，这种圆环形金属网栅薄膜解决了传统方格网栅薄膜高级次衍射能量分布的问题。图1.2圆环形金属网栅薄膜2010年，中国空空导弹研究院张运强、潘国庆[6]等人采用激光写直法在球型的蓝宝石整流罩内表面成功制备了线宽8μm，周期为350μm的金属网栅薄膜，该薄膜在1064nm波段的透过为87.8%，如图1.3所示。图1.3（a）蓝宝石整流罩(b)蓝宝石整流罩内的金属网栅薄膜尽管金属网栅薄膜对电磁波的屏蔽效率极高而且在红外具有高的透过率，但


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