钛铝（铌）氮/碳化物（TiAl（Nb）N/C）薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学行为的研究
发布时间：2021-03-22 18:06
过渡金属氮化物和碳化物（TiAlN/C）薄膜由于具有高硬度、高熔点、高耐磨性、良好的热稳定性及化学稳定性等优点,常作为表面防护涂层被广泛应用于机械加工、微电子器件、交通运输、航空航天、地质勘探等领域。进一步提高TiAlN/C薄膜的性能如高硬、高韧、低摩、耐磨以应对更加苛刻的环境及延长服役寿命成为了研究者们一致追求的目标。在TiAlN/C薄膜中,Al对其性能的提高起到了非常重要的作用,但Al在TiAlN和TiAlC薄膜中发挥着不同的作用:（1）Al在TiN中能显著提高其硬度和热稳定性,但存在韧性偏低且其性能强烈依赖于Al的存在形式的问题;（2）Al在TiC中能降低其内应力并使改善其摩擦性能,但Al对制备和摩擦过程中薄膜中a-C含量和存在形式及其对摩擦行为的作用机理尚未探明。此外,探索其它元素对TiAlN/C薄膜的影响,将有助于进一步提升其性能。针对TiAlN薄膜低的断裂韧性,引入Nb进行合金化被认为是潜在的改善韧性的途径,亟需开展系统研究。在本文中,采用磁控溅射的方法通过调节工艺参数制备了TiAlN和TiAlNbN与TiAlC和TiAlNbC薄膜,首先,结合实验与理论计算对比研究了TiA...
【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：107 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
元素周期表中常用的硬质相过渡金属元素
第一章绪论30.59(R/RTM>0.59)时，将形成更为复杂的晶体结构，如图1.3b所示的Cr23C6，在该结构中的C原子位于三方柱和八面体间隙中。图1.2FCC与HCP结构堆垛示意图。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.图1.3B1-NaCl结构与Cr23C6结构示意图[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.
第一章绪论30.59(R/RTM>0.59)时，将形成更为复杂的晶体结构，如图1.3b所示的Cr23C6，在该结构中的C原子位于三方柱和八面体间隙中。图1.2FCC与HCP结构堆垛示意图。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.图1.3B1-NaCl结构与Cr23C6结构示意图[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.
【参考文献】：
博士论文
[1]TaC基薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学行为的研究[D]. 杜苏轩.吉林大学 2018
硕士论文
[1]微量轻元素对若干典型金属薄膜的力学性能调控[D]. 杨丽娜.吉林大学 2019
本文编号：3094242
【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：107 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
元素周期表中常用的硬质相过渡金属元素
第一章绪论30.59(R/RTM>0.59)时，将形成更为复杂的晶体结构，如图1.3b所示的Cr23C6，在该结构中的C原子位于三方柱和八面体间隙中。图1.2FCC与HCP结构堆垛示意图。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.图1.3B1-NaCl结构与Cr23C6结构示意图[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.
第一章绪论30.59(R/RTM>0.59)时，将形成更为复杂的晶体结构，如图1.3b所示的Cr23C6，在该结构中的C原子位于三方柱和八面体间隙中。图1.2FCC与HCP结构堆垛示意图。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.图1.3B1-NaCl结构与Cr23C6结构示意图[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.
【参考文献】：
博士论文
[1]TaC基薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学行为的研究[D]. 杜苏轩.吉林大学 2018
硕士论文
[1]微量轻元素对若干典型金属薄膜的力学性能调控[D]. 杨丽娜.吉林大学 2019
本文编号：3094242
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/cailiaohuaxuelunwen/3094242.html
