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图形化金属软磁薄膜的高频电磁特性研究

发布时间:2021-04-11 11:32
  随着雷达探测、通讯技术和消费电子的快速发展,磁性材料在GHz波段内的优异高频电磁特性而广泛应用于军用和民用领域。例如在现代无线通讯中,我们通过手机来进行交流,这需要电磁波来进行信号传输,从过去的二代GMS数字通讯发展到现在的第四代4G通讯技术,不仅要求电磁波频率高,还需要在这些高度集成化电子设备内部间形成的信号干扰小。具有磁各向异性的薄膜化微波磁性材料可以改善材料的共振频率和磁导率特性,从而使得信号传输的更快,同时可有效减弱设备内部的传导干扰和电磁兼容干扰等问题。因此通过调控磁性薄膜材料的磁各向异性场来调控材料的高频磁性成为了薄膜材料的一个研究热点。由于在图形化小单元中会引入额外的形状各向异性能,同时具有材料选择性,因而图形化薄膜的研究引起了越来越多的兴趣。本课题研究的着重点放在如何制备图形化薄膜、改变图形化单元的尺寸和混合排列方式引入形状各向异性能来实现对NiFe软磁薄膜高频磁性能的有效调控,从而达到器件高频化、集成化、片式化和微型化的目的。主要内容如下:(一)通过光刻和磁控溅射技术制备出不同宽度的微米级Ni Fe软磁薄膜条纹,设计的线宽从2μm变化到30μm。相对于连续薄膜而言,图... 

【文章来源】:西南科技大学四川省

【文章页数】:76 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

图形化金属软磁薄膜的高频电磁特性研究


铁磁体磁导率谱的一般曲线

示意图,磁化强度矢量,进动,退磁场


1-1 铁磁体磁导率谱的一般曲线urve of ferromagnetic permeab就是高的共振频率,而共振机料内部的电子会在有效磁场 H加交变磁场、面退磁场、体退用下发生损耗,如图 1-2 所示

微波,外加磁场,方向,坐标系


外加磁场 H 为 z 轴方向,微波沿 x 轴方向振动。fine the film sample coordinate坐标系中,我们规定外加磁场 轴方向会产生微波磁场的振动 z 轴方向产生进动(如图 1-2) , z 方向的退磁因子,mx, my, mz磁化强度。将上述两式(1-2 szyxMmmmM zszyyxxNMmNmNm0H

【参考文献】:
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本文编号:3131177

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