两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究

发布时间：2021-05-08 02:34

　　对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能。简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能。 

【文章来源】：电子器件. 2020,43(04)北大核心

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 实验
2 分析和讨论
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]含氢类金刚石碳膜的拉曼光谱洛伦兹分解[J]. 蔺增,巴德纯,王凤.  东北大学学报(自然科学版). 2007(04)



本文编号：3174499