电子探针波谱仪和能谱仪在材料分析中的应用及对比

发布时间：2021-05-12 04:05

　　作为微区分析的有效手段,电子探针（EPMA）在材料成分的定性、定量、线分析以及元素面分布的分析方面等有着广泛的应用。特别是随着技术的不断进步,场发射型电子探针在同时获得高分辨率的图像和精确的成分分析方面有显著的优势,为材料分析提供了更多的可能性。本文以岛津EPMA-8050G型场发射型电子探针在材料分析中的典型应用为例,结合配备的能谱仪附件,对利用电子探针波谱仪和能谱仪进行材料的成分分析进行介绍和对比。另外,EPMA-8050G型电子探针配置的背散射电子探测器性能优异,能够初步观察材料的晶粒取向信息,可以用来分析和判断EBSD样品的前期制样效果,进一步扩展了电子探针在材料分析方面的应用。 

【文章来源】：电子显微学报. 2020,39(02)北大核心CSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 实验
2 实验结果与讨论
    2.1 WDS和EDS的定性点分析能力对比
    2.2 WDS和EDS元素面分析能力对比
    2.3 晶粒取向初步分析
3 结论



本文编号：3182694