NiC/Ti中子多层膜的微结构和界面研究

发布时间：2021-05-13 14:01

　　NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,是提升中子导管、聚焦装置等中子光学系统的中子利用率的关键之一。为了提升NiC/Ti中子超镜的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜层的NiC/Ti多层膜,分别采用X射线掠入射反射和X射线衍射的方法表征了NiC/Ti多层膜的膜层厚度、界面粗糙度和膜层晶向结构。研究结果表明:随着NiC膜层厚度的增长,除了在较小尺度（≤2.5nm）,NiC-on-Ti界面的粗糙度基本保持不变;而Ti-on-NiC界面的粗糙度却呈现出较大的变化。具有不同厚度的NiC膜层的NiC/Ti多层膜的界面粗糙度呈现不对称性的变化,主要原因在于NiC膜层的微结构随着膜层厚度的增长而产生了变化。 

【文章来源】：光学精密工程. 2017,25(11)北大核心EICSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 引言
2 实验
3 测试与分析
    3.1 NiC/Ti多层膜掠入射X射线反射测试
    3.2 NiC/Ti多层膜X射线衍射测试
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度[J]. 潘磊,朱京涛,王晓强,蒋励,李浩川,徐敬,张众,王占山,陈玲燕.  强激光与粒子束. 2010(06)
[2]TiC在Ni-Al基体中热力学稳定性预测[J]. 陈志刚,原晨光,王利,张凝芳,潘颐.  材料科学与工程学报. 2003(06)
[3]X射线超反射镜设计[J]. 张众,王占山,王风丽,秦树基,陈玲燕.  光学精密工程. 2003(01)

硕士论文
[1]Ni/Ti中子多层膜结构与界面的控制[D]. 严彪杰.中国工程物理研究院 2014



本文编号：3184144