飞秒激光辐照结合湿法腐蚀在晶体材料微结构制备中的应用

发布时间：2021-05-17 02:58

　　晶体材料微加工技术是制备微电子器件、微机电系统器件的关键技术。飞秒激光辐照结合湿法腐蚀加工技术不仅可以去除飞秒激光诱导微结构表面缺陷,提高微结构表面光滑度,还在制备高纵横比结构、内部通道等方面具有独特的优势,为晶体加工开辟了新的道路。本文概述了飞秒激光辐照结合湿法腐蚀加工技术特点、原理和优势,总结了其在硅、碳化硅、蓝宝石晶体材料微结构制备中的研究进展,讨论了该技术的不足及其未来发展。 

【文章来源】：激光与光电子学进展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章页数】：16 页

【文章目录】：
1 引言
2 基本原理
    2.1 湿法腐蚀基本原理
    2.2 飞秒激光辐照结合湿法腐蚀技术原理
    2.3 腐蚀条件的选择
        2.3.1 硅的湿法腐蚀
        2.3.2 碳化硅的腐蚀液选择
        2.3.3 蓝宝石的腐蚀液选择
3 飞秒激光辐照结合湿法腐蚀制备晶体材料微结构
    3.1 硅的微结构制备
    3.2 碳化硅的微结构制备
    3.3 蓝宝石的微结构制备
4 结语


【参考文献】：
期刊论文
[1]宽禁带与超宽禁带半导体器件新进展[J]. 郝跃.  科技导报. 2019(03)
[2]Parallel fabrication of silicon concave microlens array by femtosecond laser irradiation and mixed acid etching[J]. 潘安,陈涛,李存霞,侯洵.  Chinese Optics Letters. 2016(05)
[3]Fabrication of grating structures on silicon carbide by femtosecond laser irradiation and wet etching[J]. 高博,陈涛,Vanthanh Khuat,司金海,侯洵.  Chinese Optics Letters. 2016(02)
[4]Fabrication of Through Micro-hole Arrays in Silicon Using Femtosecond Laser Irradiation and Selective Chemical Etching[J]. 高博,陈涛,陈颖,司金海,侯洵.  Chinese Physics Letters. 2015 (10)
[5]利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究[J]. 李艳娜,陈涛,潘安,司金海,侯洵.  中国激光. 2015(01)
[6]飞秒激光湿法刻蚀微纳制造[J]. 陈烽,杨青,边浩,杜广庆,柳克银,孟祥卫,邓泽方,山超.  应用光学. 2014(01)
[7]单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展[J]. 唐彬,袁明权,彭勃,佐藤一雄,陈颖慧.  微纳电子技术. 2013(05)
[8]湿法刻蚀及其均匀性技术探讨[J]. 段成龙,舒福璋,宋伟峰,关宏武.  清洗世界. 2012(11)
[9]蓝宝石及其在军用光电设备上的应用[J]. 聂辉,陆炳哲.  舰船电子工程. 2005(02)

博士论文
[1]蓝宝石微光学元件的飞秒激光制备技术研究[D]. 李乾坤.吉林大学 2017

硕士论文
[1]碱腐蚀多晶硅表面微结构研究[D]. 王坤霞.上海交通大学 2012



本文编号：3190937