原子层沉积技术制备氧化物基薄膜的腐蚀性能研究
发布时间：2021-06-24 02:08
本文采用原子层沉积系统在单晶Si（100）片上沉积了TiO2薄膜与Ti-富马酸杂化薄膜,并对这两种薄膜进行退火处理,从而获得不同退火温度的TiO2薄膜与C-TiO2薄膜;利用原子层沉积系统在316L不锈钢和单晶Si（100）片上沉积了TiO2薄膜与Al2O3薄膜;将原子层沉积技术与磁控溅射系统相结合在316L不锈钢和单晶硅片上沉积了一系列TiN/Al2O3/TiN叠层复合薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱对薄膜的表面及截面形貌、物相结构、和组成成分测试分析;采用划痕仪、纳米压痕仪和三维形貌仪分析薄膜的膜基结合力、硬度及弹性模量、表面粗糙度等。研究薄膜在3.5 wt.%NaCl溶液中的耐腐蚀性能,再利用金相显微镜观察腐蚀后薄膜表面形貌的变化,并探讨相关的腐蚀机理;通过自制的球-盘式摩擦试验机研究复合薄膜在3.5 wt.%NaCl溶液中的抗摩擦特性,并利用金相显微镜和三维形貌仪观察和分析薄膜及对...
【文章来源】：南京航空航天大学江苏省 211工程院校
【文章页数】：98 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
腐蚀损失与防护之间的关系
图 1. 2 腐蚀损失与防护之间的关系的发展现状国对防腐蚀研究越来越重视，传统的防腐技术开始逐步走向成用到实际中。而深刻地理解防腐的基本原理，才能更好地应用和手，才能有效地防治腐蚀的发生。由 Fe/H2O 体系的电位 E-pH方法可预防 Fe 发生腐蚀：1) 提高 pH 值；2) 升高电位至钝化剂；3) 降低电位至免蚀区-阴极保护。
Mg-Zn-Mn 合金的极化曲线[22]：a) 横截面试样，b) 纵截层属表面涂层技术是应用最广泛的防腐技术，主要是在金蚀介质与金属基材的接触。其制备方法比较成熟，涂层境中，可与其他防腐技术配合使用，但涂层在长期腐蚀外力较强的场合。一般金属表面的防腐涂层分为两种，类涂层[25,26]、聚氨酯树脂类涂层[27]、聚吡咯类涂层[28]等化物类涂层[29,30]、金属氮化物类涂层[31,32]、金属合金类涂色有机-无机混合环氧树脂涂层，研究发现杂化颜料的添耐腐蚀性能，同时，该混合颜料部分溶于腐蚀性电解质，性能。相继研究了 TiN、CrN、TiCN、CrCN、CrSiCN 和 CrBC蚀性能，发现 TiN 与 CrN 薄膜在模拟体液中会生成一种出良好的耐腐蚀性能；在 TiN 与 CrN 薄膜中添加适量
【参考文献】：
期刊论文
[1]铁基牺牲阳极对17-4PH不锈钢的阴极保护[J]. 胡毓,杜见第,李婷,丁冬雁. 腐蚀科学与防护技术. 2016(05)
[2]石油化工设备腐蚀的防护与检测[J]. 于立新. 石化技术. 2016(06)
[3]原子层沉积低温制备高取向锐钛矿TiO2薄膜[J]. 佘秋明,曹良良,陈燕,宋新山,王宇晖,宋志棠,吴良才. 真空科学与技术学报. 2016(05)
[4]等离子喷涂制备Al2O3,ZrO2,Al2O3/ZrO2和ZrO2/Al2O3涂层的腐蚀性能（英文）[J]. S.SATHISH,M.GEETHA. Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2016(05)
[5]304不锈钢表面TiN涂层的耐蚀性能[J]. 李轩鹏,郭亚鑫,华帅,范爱兰,刘小萍,唐宾. 表面技术. 2016(04)
[6]船体材料腐蚀与防护措施的研究进展[J]. 李婷,张耀武,吕岩,马坡. 广州化工. 2015(06)
[7]深海环境中的材料腐蚀与防护研究进展[J]. 曹攀,周婷婷,白秀琴,袁成清. 中国腐蚀与防护学报. 2015(01)
[8]316L不锈钢表面溶胶-凝胶法制备TiO2薄膜[J]. 王军,刘莹,刘小龙. 中国表面工程. 2014(03)
[9]金属材料防腐技术的研究进展[J]. 何毅,徐中浩,陈航宇,唐艳丽,陈丹. 应用化工. 2013(11)
[10]电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能[J]. 宋贵宏,娄茁,李锋,陈立佳. 中国有色金属学报. 2012(02)
硕士论文
[1]Ag负载对N掺杂TiO2薄膜的光电及光催化性能的影响[D]. 张伟华.太原理工大学 2016
本文编号：3246140
【文章来源】：南京航空航天大学江苏省 211工程院校
【文章页数】：98 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
腐蚀损失与防护之间的关系
图 1. 2 腐蚀损失与防护之间的关系的发展现状国对防腐蚀研究越来越重视，传统的防腐技术开始逐步走向成用到实际中。而深刻地理解防腐的基本原理，才能更好地应用和手，才能有效地防治腐蚀的发生。由 Fe/H2O 体系的电位 E-pH方法可预防 Fe 发生腐蚀：1) 提高 pH 值；2) 升高电位至钝化剂；3) 降低电位至免蚀区-阴极保护。
Mg-Zn-Mn 合金的极化曲线[22]：a) 横截面试样，b) 纵截层属表面涂层技术是应用最广泛的防腐技术，主要是在金蚀介质与金属基材的接触。其制备方法比较成熟，涂层境中，可与其他防腐技术配合使用，但涂层在长期腐蚀外力较强的场合。一般金属表面的防腐涂层分为两种，类涂层[25,26]、聚氨酯树脂类涂层[27]、聚吡咯类涂层[28]等化物类涂层[29,30]、金属氮化物类涂层[31,32]、金属合金类涂色有机-无机混合环氧树脂涂层，研究发现杂化颜料的添耐腐蚀性能，同时，该混合颜料部分溶于腐蚀性电解质，性能。相继研究了 TiN、CrN、TiCN、CrCN、CrSiCN 和 CrBC蚀性能，发现 TiN 与 CrN 薄膜在模拟体液中会生成一种出良好的耐腐蚀性能；在 TiN 与 CrN 薄膜中添加适量
【参考文献】：
期刊论文
[1]铁基牺牲阳极对17-4PH不锈钢的阴极保护[J]. 胡毓,杜见第,李婷,丁冬雁. 腐蚀科学与防护技术. 2016(05)
[2]石油化工设备腐蚀的防护与检测[J]. 于立新. 石化技术. 2016(06)
[3]原子层沉积低温制备高取向锐钛矿TiO2薄膜[J]. 佘秋明,曹良良,陈燕,宋新山,王宇晖,宋志棠,吴良才. 真空科学与技术学报. 2016(05)
[4]等离子喷涂制备Al2O3,ZrO2,Al2O3/ZrO2和ZrO2/Al2O3涂层的腐蚀性能（英文）[J]. S.SATHISH,M.GEETHA. Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2016(05)
[5]304不锈钢表面TiN涂层的耐蚀性能[J]. 李轩鹏,郭亚鑫,华帅,范爱兰,刘小萍,唐宾. 表面技术. 2016(04)
[6]船体材料腐蚀与防护措施的研究进展[J]. 李婷,张耀武,吕岩,马坡. 广州化工. 2015(06)
[7]深海环境中的材料腐蚀与防护研究进展[J]. 曹攀,周婷婷,白秀琴,袁成清. 中国腐蚀与防护学报. 2015(01)
[8]316L不锈钢表面溶胶-凝胶法制备TiO2薄膜[J]. 王军,刘莹,刘小龙. 中国表面工程. 2014(03)
[9]金属材料防腐技术的研究进展[J]. 何毅,徐中浩,陈航宇,唐艳丽,陈丹. 应用化工. 2013(11)
[10]电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能[J]. 宋贵宏,娄茁,李锋,陈立佳. 中国有色金属学报. 2012(02)
硕士论文
[1]Ag负载对N掺杂TiO2薄膜的光电及光催化性能的影响[D]. 张伟华.太原理工大学 2016
本文编号：3246140
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