CdSe波片6～12μm波段增透膜研究

发布时间：2021-07-12 03:08

　　采用垂直无籽晶气相升华法生长出直径37 mm的优质硒化镉（CdSe）单晶体,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。经研磨和抛光,在2～20μm波段CdSe波片的红外透过率约为70%。为进一步提高波片的透过率,采用Essential-Macleod软件辅助设计方案,选用YF₃和ZnS为双层增透膜材料,并获得最佳的膜系厚度。镀膜后的CdSe波片在6～12μm波段透过率达到90%,在10.5μm处的透过率最高,峰值高达99%。 

【文章来源】：人工晶体学报. 2020,49(04)北大核心

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

(a)无籽晶气相升华法生长的CdSe单晶;(b)CdSe单晶XRD图谱

对晶体进行定向切割,制成20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚,如图2(a)所示;波片的示意图,如图2(b)所示。在pH=5的酸性条件下对CdSe波片进行化学机械抛光处理[17]。使用本原CSPM型原子力显微镜对波片进行扫描测试如图3(a)所示。波片表面平均粗糙度Ra=0.73 nm,粗糙程度较低。采用IR Prestige-21傅里叶红外光谱仪对抛光后的CdSe波片进行红外透过率测试,如图3(b),在2～20 μm波段内CdSe波片的平均透过率接近70%。图3 (a)CdSe波片的AFM照片;(b)CdSe波片红外透过率曲线

(a)CdSe波片的AFM照片;(b)CdSe波片红外透过率曲线

【参考文献】：
期刊论文
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硕士论文
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本文编号：3279072