薄膜压电材料压电系数测试方法研究进展

发布时间：2021-07-17 18:02

　　基于国内外研究成果,对薄膜压电系数测试方法进行了分类介绍,如基于正压电效应的垂直压力加载法、气动加载法、悬臂梁法和基于逆压电效应的激光干涉法、显微镜法,X射线衍射法,还有采用间接测量的体声波和表面声波法、复合谐振法等。基于压电系数测试研究现状,汇报了测试方法的最新研究进展。随着高通量实验的快速发展,高通量测试方法已经逐渐成为材料测试的发展方向。对于压电薄膜压电系数的高通量测量,悬臂梁法以及X射线衍射法有望实现多个试样并行测试,显著提高实验效率,可以为材料模拟计算提供数据支持,同时对模拟计算的结果提供实验验证。 

【文章来源】：传感器与微系统. 2020,39(10)CSCD

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
0 引言
1 测试原理
2 薄膜压电材料压电系数测试方法
    2.1 直接测试方法
        2.1.1 垂直压力加载
        2.1.2 气动压力加载
        2.1.3 悬臂梁法
        2.1.4 激光干涉法
        2.1.5 显微镜法
        2.1.6 X射线衍射法
    2.2 间接测试方法
        2.2.1 体声波和表面声波法
        2.2.2 复合谐振法
3 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]动态谐振法测量纵向压电应变常数的不确定度评定[J]. 张瑞纹,何龙标,祝海江,杨平.  计量学报. 2015 (04)
[2]薄膜压电系数测量方法的研究进展[J]. 董佳丽,相文峰,赵昆,岳义,贺卓,赵嵩卿.  微纳电子技术. 2014(01)
[3]薄/厚膜压电参数测量方法的研究进展[J]. 王青萍,姜胜林,熊龙宇,曾亦可.  材料导报. 2009(21)

硕士论文
[1]压电陶瓷的纵向应变常数测量研究[D]. 张瑞纹.北京化工大学 2014



本文编号：3288668