基于激光干涉光刻的反射与润湿功能表面可控制备研究

发布时间：2021-08-18 19:32

　　纳米、微米尺度的表面结构优化可以有效改善材料表面性能。微纳结构功能表面研究是表面工程领域的热点方向。其中,固体材料表面光学和润湿特性的改进一直是表面工程领域的重要研究问题,其在航空、航天、生物、医学及能源材料等相关领域展现出了实际应用价值。目前,大面积微纳结构功能表面的可控制备仍是其推广应用的关键技术瓶颈。本文以多光束激光干涉光刻（LIL）技术为基础,针对反射和润湿功能表面的可控制备开展研究。本文主要完成的工作和取得的成果如下:首先,基于多光束干涉光场分布的理论,分析了三光束干涉情况下,空间角和偏振态矢量的不同组合关系对形成光场的影响,提出了空间角分布为（0°,90°,180°）对非对称三光束干涉光路设计,对应相干光束的偏振态组合为TE-TM-TE,并组建了非对称三光束激光干涉光刻系统。这种系统设计方案具有光路简化的优点,同时提高了对光场形成图案的控制能力,更容易实现高占空比结构的制备。其次,基于该系统,获得了干涉光刻曝光过程中工艺参数对结构形貌参数的影响规律,通过曝光剂量控制实现了对结构形状、高度和占空比的调控,进而达到周期性微纳掩模的大面积可控制备的目的。在此基础上,利用感应耦合等... 

【文章来源】：长春理工大学吉林省

【文章页数】：128 页

【学位级别】：博士

【部分图文】：

激光干涉技术分光分类示意图

激光干涉系统示意图[16-23]

多光束干涉光场的光学图像，相位掩模按照多面对称金字塔透镜计算得到，图像通过CCD采集[20]

【参考文献】：
期刊论文
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[4]《光学》自学辅导材料（三）——干涉装置[J]. 周岳明.  大学物理. 1986(06)



本文编号：3350494