3-5μm红外透明导电氧化物薄膜的研究

发布时间：2021-09-12 18:30

　　红外气体检测系统因其测试精度高、速度快等优点被应用于矿井下检测可燃气体,矿井下粉尘和水蒸气严重干扰了气体检测灵敏度和精度,透明导电薄膜由于其独特的光电性能可以去除光学元器件上的粉尘和水蒸气。然而目前透明导电薄膜只在可见光波段透明,无法适用于红外气体检测常用的3⁵μm大气窗口波段。因此,研究适用于3⁵μm波段的透明导电薄膜对提高检测系统抗干扰能力具有重要意义。本论文使用离子束辅助热蒸镀和射频磁控溅射法,在石英、蓝宝石、硒化锌衬底上制备了三种红外透明导电薄膜,分别为In₂O₃薄膜、氧化铟掺铪（IHfO）薄膜、氧化锌掺铪（HZO）薄膜。研究了实验参数对薄膜晶体结构和光电性能的影响。首先,使用离子束辅助热蒸镀法制备制备了In₂O₃薄膜,分别研究了氧气流速和退火温度对In₂O₃薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明In₂O₃薄膜具有（222）方向的择优取向,增加氧气流速有利于薄膜... 

【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：70 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

金属网栅薄膜结构

AMO_2类P型透明导电氧化物薄膜结构[17]

强关联体薄膜结构

【参考文献】：
期刊论文
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[2]近红外区高透射率In2O3:W透明导电氧化物薄膜的研究[J]. 冯佳涵,杨铭,李桂锋,张群.  真空. 2008(01)
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博士论文
[1]石墨烯及其氮化结构电子输运性质的研究[D]. 何晶晶.南京邮电大学 2018
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硕士论文
[1]面向红外气体检测的半导体发光器件温控系统的研究[D]. 闫万红.吉林大学 2019
[2]红外透明导电薄膜的制备及其光电性质研究[D]. 王鑫.吉林大学 2018
[3]GZO透明低阻膜材料的制备及其性能研究[D]. 程慧.电子科技大学 2017
[4]铜铁矿型红外透明导电膜的制备与光电性能研究[D]. 胡冰.吉林大学 2016



本文编号：3394727