ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能研究

发布时间：2021-09-25 15:03

　　采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与TiSi复合靶成功制备了不同TiSiN层厚度的ZrN/TiSiN纳米多层膜。利用X射线衍射（XRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、扫描电子显微镜（SEM）和纳米压痕仪研究了不同TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明,ZrN/TiSiN纳米多层膜主要由面心立方的ZrN相组成,随着TiSiN层厚度的增加,纳米多层膜的结晶程度先增加后降低,其硬度和弹性模量也先升高后降低。当TiSiN层厚度为0.7nm时,纳米多层膜具有最高的硬度和弹性模量,分别为28.7和301.1GPa,远超过ZrN单层膜。ZrN/TiSiN纳米多层膜的强化效果可由交变应力场和模量差理论进行解释。 

【文章来源】：功能材料. 2016,47(01)北大核心CSCD

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 引言
2 实验材料与方法
    2.1 薄膜的制备
    2.2 薄膜的表征与测试
3 实验结果与讨论
    3.1 TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜微观组织的影响
    3.2 TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜力学性能的影响
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]微量Al掺杂对TiN微观结构及性能的影响[J]. 苏永要,王锦标,田亮亮,赵海波,涂铭旌,赵黎宁,邓涛.  功能材料. 2013(18)
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[3]AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能[J]. 喻利花,董师润,许俊华.  物理学报. 2008(12)
[4]TiN/TaN多层膜的结构和摩擦学性能[J]. 安健,张庆瑜.  摩擦学学报. 2005(01)
[5]超硬材料薄膜涂层研究进展及应用[J]. 吕反修.  热处理. 2004(04)



本文编号：3409948