溶液法高质量外延薄膜助力新型复杂氧化物研究

发布时间：2021-12-16 06:11

　　<正>目前普遍用于外延薄膜生长的物理气相沉积技术在复杂氧化物外延薄膜制备工艺,存在工艺探索周期长、生长窗口窄、参数稳定性低等困难。为此,中国科学院深圳先进技术研究院李江宇教授课题组,发展了适用于（1-x）BiTi（1-y）/2FeyMg（1-y）/2O3-（x）CaTiO3 （BTFM-CTO）体系室温多铁固溶体的溶液法大面积外延薄膜制备工艺。该工作充分体现了溶胶凝胶法简单快速、成本低廉、成分调控均匀灵活等特点,在复杂氧化物外延薄膜研究及应用 

【文章来源】：润滑与密封. 2020,45(03)北大核心CSCD

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本文编号：3537632