脉冲激光沉积结合快速退火制备SnS薄膜及其表征

发布时间：2022-01-02 19:49

　　利用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上生长、并经Ar保护下快速退火制备SnS薄膜。利用X射线衍射、拉曼光谱、X射线能量色散谱、原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计等表征手段,对不同条件（脉冲激光能量:90和140 rnJ;退火温度:100⁴00℃）下制备SnS薄膜的晶体结构、化学组分、表面形貌、光学特性等进行表征分析。结果表明:脉冲激光能量为140mJ、退火温度为300℃时所制备的SnS薄膜结晶质量良好、择优取向生长良好、成分接近理想配比（Sn:S=1:1.03）、光吸收系数为10⁵ cm^-1量级。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2016,36(01)北大核心CSCD

【文章页数】：8 页

【部分图文】：

SnS薄膜样品拉受图

第１期?马明杰等：脉冲激光沉积结合快速退火制备ＳｎＳ薄膜及其表征?７５??表２?ＳｎＳ薄膜的晶胞体积、应力、位错密度?综合拉曼谱和ＸＲＤ谱得，ＳｎＳ薄膜在３００弋退火时??Ｔａｂ．２?Ｃｅｌｌ?ｖｏｌｕｍｅ，ｓｔｒａｉｎ，ｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ?ｄｅｎｓｉｔｙ?ｏｆ?ｔｈｅ?ＳｎＳ?ｔｈｉｎ?ｆｉｌｍ?的结晶程度和相纯度都是最好的。??温度?晶胞体积Ｖ／ｎｍ３?应力?位错密度／ｍｚ?２?３?薄膜组分分析??２００Ｘ?０．１９５?０．０１２０?７．４９?ｘ?１〇＇４?＇??３００？ｃ?０．１９３?０．００１２?５．６４?ｘｌＯ１４?图３是ＳｎＳ薄膜的ＥＤＳ谱图。ＥＤＳ图谱中标注??４００＾?０１９１?０?０１７６?６．５０ｘ?１０＇＊?了?Ｓｎ和Ｓ元素峰位，其他与玻璃衬底有关的元素峰??—??位未标注。表３给出靶材和温??２．２薄膜拉曼光谱分析?度退火条件下制备的ＳｎＳ薄膜的化学组分摩尔比。??各温度退火的ＳｎＳ薄膜的拉曼光谱特征如图２??所示。随着退火温度的不同，其拉曼峰也有所不同，?表３?ＳｎＳ薄膜样品的化学成分??主要的?ＳｎＳ?拉曼峰在?９４，１５０，１７０，２２１?ｃｍ－１?附近，其??Ｔａｂ．３?Ｃｏｎｔｅｎｔｓ?ｏｆ?ｔｈｅ?ＳｎＳ?ｃｏａｔｉｎｇｓ???中９４，２２１?ｃｍ?—?１附近的拉曼峰属于Ａｇ模、１５０?ｃｍ—１拉?温度??＾??Ｓｎ／Ｓ比??曼峰属于Ｂ２ｇ模、１７０?ｃｎＴ１拉曼峰属于Ｂ３ｇ模。而３０５??＾?Ｓ???ｒ?，?靶材?６．５％?６３．５％?０．５７??ｃｍ—１附近位置的峰对应的Ｓｎ２Ｓ３［１７－１９］。由图可以

【参考文献】：
期刊论文
[1]脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究[J]. 李丽丽,梁齐,史成武,孔明光,李兵.  真空科学与技术学报. 2011(04)



本文编号：3564782