CrAlN/WS 2 纳米多层膜的微观结构和力学性能研究

发布时间：2022-01-07 19:11

　　采用反应磁控溅射工艺在Si基体上沉积了不同调制周期的CrAlN/WS₂纳米多层膜,采用X射线衍射仪（XRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、纳米压痕仪和HSR-2M涂层摩擦磨损试验机、扫描电子显微镜（SEM）,研究了调制周期对CrAlN/WS₂纳米多层膜微观结构和力学性能的影响。研究结果表明,WS₂层厚度低于0.8nm时,六方结构的WS₂在CrAlN的模板作用下转变为B1-NaCl型面心立方结构并与CrAlN层发生共格外延生长,使薄膜得到强化,在WS₂层厚度为0.8nm时,薄膜硬度和弹性模量达到最大,分别为37.3和341.2GPa。随着WS₂层厚度的进一步增加,WS₂又转变回六方结构,使薄膜共格外延生长结构破坏,结晶度降低,耐磨性增强,硬度和弹性模量减小。CrAlN/WS₂纳米多层膜的摩擦系数均在0.2⁰.3之间,远低于单层CrAlN的摩擦系数的0.6,磨损率亦明显减小。获得了综合力... 

【文章来源】：功能材料. 2016,47(12)北大核心CSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 实验
    1.1 薄膜的制备
    1.2 薄膜的表征
2 结果与讨论
    2.1 WS2层厚度对CrAlN/WS2纳米多层膜微观结构的影响
    2.2 WS2层厚度对CrAlN/WS2纳米多层膜硬度和弹性模量的影响
    2.3 WS2层厚度对CrAlN/WS2纳米多层膜摩擦磨损性能的影响
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]WS2薄膜/空间液体润滑剂复合润滑体系的摩擦学性能研究[J]. 权鑫,孙嘉奕,翁立军.  摩擦学学报. 2014(06)
[2]陶瓷硬质纳米多层膜研究进展[J]. 孔明,岳建岭,李戈扬.  无机材料学报. 2010(02)
[3]纳米表面工程的进展与展望[J]. 徐滨士,刘世参,梁秀兵.  机械工程学报. 2003(10)



本文编号：3575104