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Ag对氮化物薄膜微结构及性能影响的研究

发布时间:2022-01-12 12:08
  采用磁控溅射技术在304不锈钢薄片与单晶硅片上沉积制备了一系列Ag含量不同的氮化物复合膜,利用一系列的检测设备对实验制备不同复合膜的微观相结构、力学性能以及各温度下摩擦磨损性能进行表征测量,利用的设备为纳米压痕仪、X射线衍射仪(XRD)、高温摩擦磨损试验仪、扫描电子显微镜(SEM)及其能谱仪、三维形貌仪、透射电子显微镜(TEM)。综合研究了软质贵金属Ag元素对WNbN-Ag复合膜、NbN-Ag复合膜以及VCN-Ag复合膜的微观结构、力学性能以及各温度下的摩擦性能的影响,研究结果如下:对于不同Ag含量的WNbN-Ag复合膜的研究表明:WNbN-Ag复合膜由面心立方WNbN、面心立方NbN、六方NbN、单质相Ag四相结构组成。随着Ag含量的增加,WNbN-Ag复合膜的硬度和弹性模量均逐渐下降。室温下,随着薄膜中Ag元素含量的增多,WNbN-Ag复合膜的摩擦系数表现出了先增大后减小的趋势,磨损率也随着Ag含量的增加而逐渐增大。在300℃-700℃的温度范围内,随着环境温度的不断升高,WNbN-Ag复合膜的摩擦系数表现出了逐渐减小的趋势,磨损率则逐渐增大。根据研究结果发现,Ag有效改善了WNb... 

【文章来源】:江苏科技大学江苏省

【文章页数】:83 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

Ag对氮化物薄膜微结构及性能影响的研究


超晶格薄膜的结构示意图

示意图,离子轰击,入射,示意图


图 2.1 入射离子轰击表面的示意图Fig.2.1 The interaction between irons and solid surfac室进行镀膜溅射实验所采用的设备为中科院

高真空,磁控溅射


图 2.2 JGP-450 复合型高真空多靶磁控溅射仪 composite type high vacuum multi target magnetron sp

【参考文献】:
期刊论文
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硕士论文
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本文编号:3584747

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