铁电效应对钽酸锂固结磨盘加工的影响研究

发布时间：2022-02-10 14:43

　　目的研究铁电效应对钽酸锂加工的潜在影响。方法选用3000^#的金刚石粉料制作的金刚石丸片,将其固结在设计的夹具中制成一种新型固结磨盘,并与游离磨料研磨加工结果进行比较,然后采用恒温水浴装置将冷却液温度控制在低温状态,并添加电解质溶液,以材料去除率、表面形貌及粗糙度作为指标,进一步分析铁电效应对固结磨盘加工钽酸锂的结果影响。结果游离磨料加工10 min后,钽酸锂晶片表面粗糙度Sa从初始的419.112 nm降至232.319 nm,材料去除率MRR为36.78μm/h,晶片表层存在磨粒嵌入、大量凹坑及深划痕等缺陷,且研磨过程中易破损。同样的加工条件下,固结磨盘研磨钽酸锂晶片的表面粗糙度Sa从419.112 nm降到97.004 nm,材料去除率MRR为57.19μm/h,相对于游离磨料加工结果,晶片表面磨粒嵌入情况极少,划痕深度变浅、凹坑数量减小,表面更光滑。在冷却液温度为5℃并添加0.5%（体积分数）的电解质溶液时,使用固结磨盘研磨10 min后,表面粗糙度Sa进一步下降到37.943 nm,材料去除率为58.75μm/h。材料表面无磨粒嵌入,无较深沟槽和凹坑,仅存... 

【文章来源】：表面技术. 2020,49(10)北大核心EICSCD

【文章页数】：9 页

【参考文献】：
期刊论文
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硕士论文
[1]基于固结磨料盘的钽酸锂高效研磨加工技术研究[D]. 张韬杰.浙江工业大学 2019
[2]光电子材料钽酸锂晶片化学机械抛光过程研究[D]. 杜宏伟.广东工业大学 2004



本文编号：3619037