CVD纳米金刚石@碳化硅复合粉末导热填料制备工艺研究

发布时间：2022-07-03 16:56

　　通过改变甲烷浓度、热丝功率、热丝丝距以及沉积时间等参数,利用热丝化学气相沉积（HFCVD）工艺,在β-碳化硅（β-SiC）粉末上沉积了一层纳米金刚石（ND）涂层,制备了ND@SiC复合粉末导热填料,并利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、透射电子显微镜以及热重分析等,对所得填料进行了表征。结果表明,SiC粉末表面涂覆了一层纳米金刚石涂层,形成了ND@SiC结构;当沉积参数为甲烷浓度5%、热丝功率4×1000 W、热丝丝距8 mm,沉积时间2×3 h时,制备的ND@SiC复合粉末具有理想的显微结构,复合粉末中金刚石的含量占粉体总重量的9.31%。 

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
0 引言
1 实验部分
    1.1 原材料
    1.2 碳化硅粉末的预处理以及涂层制备过程
    1.3 CVD金刚石的涂层制备工艺参数
    1.4 表征方法
2 结果及分析
    2.1 CH4/H2比对沉积结果的影响
    2.2 热丝功率及丝距对沉积结果的影响
    2.3 生长时间对沉积结果的影响
    2.4 最佳沉积工艺样品的表征
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[3]纳米复合材料制备技术及最新进展[J]. 朱其永.  陶瓷学报. 2005(01)
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本文编号：3655276